浅析气浮静压导轨技术未来的发展趋势  

作　　者：袁丽潭 

机构地区：[1]南阳君礼商贸有限公司,河南南阳473000

出　　处：《中国科技期刊数据库 工业A》2024年第10期0049-0052,共4页

摘　　要：气浮静压导轨技术作为一种高精度、高速度、运动平稳、抗震隔振等一系列特点,已经在精密机械加工、半导体制造、光学仪器等领域得到广泛应用。这种技术是通过利用压缩气体作为润滑介质,实现了无磨损运动,从而大幅提高设备的定位精度和动态响应性能。本文将对当前气浮静压导轨技术进行概述,并探讨其未来的发展趋势,包括技术创新、应用领域的扩展以及市场前景。

关 键 词：气浮静压导轨 技术发展 精密机械 半导体制造 

分 类 号：TU2[建筑科学—建筑设计及理论]