八梁硅微加速度传感器横向灵敏度的研究  

Analysis of Transverse Sensitivity in Eight-beam Piezoresistive Micro-accelerometer

作　　者：范波[1] 熊继军[1] 郭涛[1] 毛海央[1] 王敏[1] 

机构地区：[1]中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原山西030051

出　　处：《微计算机信息》2008年第1期138-140,共3页Control & Automation

基　　金：国家自然科学基金(基金号:50535030;50405025;50375050);霍英东基金(基金号:01052)

摘　　要：一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式,这种结构的传感器有很高的灵敏度,但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器,通过用ANSYS有限元分析软件仿真计算,说明该结构的加速度传感器具有很小的横向效应。The general piezoresistive silicon micro acceleration instrument structure uses the cantilever beam to add the quality block much the form, This kind of Micro Accelerometer has the very high sensitivity, But it also have the very high crosswise effect. In the article introduces one kind of eight- beam and three axles Micro Accelerometer, through uses the ANSYS software simulation to calculate, Explained the acceleration instrument of this structure has the very small crosswise effect.

关 键 词：加速度传感器 灵敏度 横向效应 压阻式 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]