云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 范波

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Calculation,Simulation,and Testing for the Natural Frequency of a Micro Accelerometer被引量：2: 《Journal of Semiconductors》2008年第9期1715-1722,共8页熊继军范波郭虎岗高建飞; the National Natural Science Foundation of China(No.50775209);NCET~~; A calculation and test method for the natural frequency of a high-g micro accelerometer with complex structures is presented. A universal formula for natural frequency, which can significantly simplify the structural ...; 关键词：natural frequency micro accelerometer Rayleigh-Ritz formula

微加速度计固有频率的推导及验证被引量：6: 《传感技术学报》2008年第6期989-993,共5页鲍爱达徐晓辉张英祥范波郭涛; 国家自然科学基金资助(50775209); 为了解决压阻式加速度计的动态特性欠佳的共性,避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,在结构设计过程中选择合理固有频率是至关重要的。本文就针对一种四边八梁结构的高gn值压阻式加速度计,通过力学知识,简化结构并推导出其...; 关键词：固有频率微加速度计 Rayleigh-Ritz公式

基于介观压阻效应的高g值加速度计设计被引量：3: 《传感技术学报》2008年第3期446-449,共4页陈尚薛晨阳张文栋张斌珍王建范波; 国家自然科学基金资助项目(50405025;50535030); 依据介观压阻效应原理,设计出一种以超晶格量子阱薄膜为敏感单元的高g值纳机电加速度计,期望利用超晶格量子阱薄膜的高灵敏特性,提高加速度计的灵敏度。结合GaAs基表面微机械加工工艺和控制孔技术完成了加速度计的加工。采用马歇特冲击...; 关键词：高g值加速度计介观压阻效应量子阱薄膜 GaAs微结构

(100)面硅片各向异性腐蚀中的凸角补偿方式被引量：7: 《纳米技术与精密工程》2008年第1期68-71,共4页郭涛范波郭虎岗高健飞; 国家自然科学基金资助项目(50775209/E052502); 为了避免微加速度计在加工过程中,由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象,必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的要求,在腐蚀开始前设计好补偿的掩膜图形,使之在特定的腐蚀时间后显现出理想的凸角形状.以一种梁-质量...; 关键词：梁-质量块结构微加速度计湿法腐蚀凸角补偿各向异性腐蚀

微加速度计在冲击环境下的可靠性研究被引量：8: 《传感技术学报》2008年第2期233-236,共4页高健飞熊继军郭涛范波; 国家自然基金资助(50775209;E052502); 微加速度计用于测量载体的加速度,并提供相关的速度和位移信息。微加速度计可以和微型陀螺仪组合构成微型惯性测量单元。但是微加速度计还没有完全实现市场化,微加速度计的可靠性问题已经成为制约其广泛应用的关键因素。微加速度计在加...; 关键词：微加速度计可靠性冲击失效模式

八梁硅微加速度传感器横向灵敏度的研究被引量：6: 《微计算机信息》2008年第1期138-140,共3页范波熊继军郭涛毛海央王敏; 国家自然科学基金(基金号:50535030;50405025;50375050);霍英东基金(基金号:01052); 一般的压阻式硅微加速度传感器结构多采用悬臂梁加质量块的形式,这种结构的传感器有很高的灵敏度,但它会产生很高的横向效应。文中介绍一种八梁结构的三轴加速度传感器,通过用ANSYS有限元分析软件仿真计算,说明该结构的加速度传感器具...; 关键词：加速度传感器灵敏度横向效应压阻式

压阻式微加速度计动态特性与阻尼的关系研究被引量：3: 《仪器仪表学报》2007年第9期1594-1599,共6页毛海央熊继军张文栋徐栋范波; 国家自然科学基金重点项目(50535030);霍英东基金(101052);新世纪优秀人才计划资助项目; 采用微机械加工工艺制作的压阻式微加速度计在测试过程中经常出现动态特性欠佳甚至于结构损坏的现象,在压阻式微加速度计中,合理设计阻尼参数有助于改善传感器的动态特性。将压阻式微加速度计简化为二阶模型,定性分析了系统动态特性与...; 关键词：阻尼压阻式微加速度计二阶系统动态特性

可靠性预计模型被引量：1: 《纳米技术与精密工程》2007年第4期285-288,共4页熊继军高健飞郭涛范波; 国家自然科学基金重点项目(50775209/E052502); 微加速度计是集微电子与机械于一体的加速度敏感元件.微加速度计的应用越来越广泛,但是其可靠性问题成为制约微加速度计市场化的关键因素.为了预计压阻式微加速度计的可靠性,分析了一个完整的压阻式微加速度计,它由加速度计微结构、键...; 关键词：微加速度计可靠性预计模型失效率

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