高健飞

作品数：5被引量：22H指数：3
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供职机构：中北大学机械工程与自动化学院更多>>
发文主题：微加速度计可靠性失效模式冲击环境可靠性研究更多>>
发文领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术兵器科学与技术更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《应用科技》更多>>
所获基金：国家自然科学基金霍英东基金更多>>
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厚膜混合集成MEMS电容式加速度计
《应用科技》2009年第3期72-72,共1页郭虎岗 王玲 高健飞 马宗敏 孟美玉 
设计了电容式加速度计的信号检测电路。与电容式加速度计表头进行了联调和测试。并进行了标定。为减小体积。提高电容式加速度计的检测精度，采用了厚膜混合集成技术．将检测电路和电容式加速度计集成于一体。最后进行了电路测试和性能...
关键词：电容式加速度计 厚膜混合集成 MEMS 信号检测电路 混合集成技术 性能测试 检测精度 电路测试 
(100)面硅片各向异性腐蚀中的凸角补偿方式被引量：7
《纳米技术与精密工程》2008年第1期68-71,共4页郭涛 范波 郭虎岗 高健飞 
国家自然科学基金资助项目(50775209/E052502)
为了避免微加速度计在加工过程中,由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象,必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的要求,在腐蚀开始前设计好补偿的掩膜图形,使之在特定的腐蚀时间后显现出理想的凸角形状.以一种梁-质量...
关键词：梁-质量块结构微加速度计 湿法腐蚀 凸角补偿 各向异性腐蚀 
微加速度计在冲击环境下的可靠性研究被引量：8
《传感技术学报》2008年第2期233-236,共4页高健飞 熊继军 郭涛 范波 
国家自然基金资助(50775209;E052502)
微加速度计用于测量载体的加速度,并提供相关的速度和位移信息。微加速度计可以和微型陀螺仪组合构成微型惯性测量单元。但是微加速度计还没有完全实现市场化,微加速度计的可靠性问题已经成为制约其广泛应用的关键因素。微加速度计在加...
关键词：微加速度计 可靠性 冲击 失效模式 
微加速度计在恶劣环境下的可靠性被引量：7
《微计算机信息》2007年第35期227-229,共3页高健飞 熊继军 郭涛 石云波 
国家自然科学基金重点项目(50535030;50405025;50375050);霍英东基金(01052)支持
微加速度计的可靠性问题是其能否迅速走向市场的关键。本文对压阻式悬臂梁加速度计在不同的环境下的失效模式进行了讨论,并给出了一些加速度计可靠性设计方面的建议,可以为其他科研工作者提供参考。
关键词：可靠性 加速度计 失效模式 残余应力 
可靠性预计模型被引量：1
《纳米技术与精密工程》2007年第4期285-288,共4页熊继军 高健飞 郭涛 范波 
国家自然科学基金重点项目(50775209/E052502)
微加速度计是集微电子与机械于一体的加速度敏感元件.微加速度计的应用越来越广泛,但是其可靠性问题成为制约微加速度计市场化的关键因素.为了预计压阻式微加速度计的可靠性,分析了一个完整的压阻式微加速度计,它由加速度计微结构、键...
关键词：微加速度计 可靠性 预计模型 失效率 
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