微加速度计在恶劣环境下的可靠性  

The reliability of micro-accelerometer in harsh environment

作　　者：高健飞[1] 熊继军[1] 郭涛[1] 石云波[1] 

机构地区：[1]中北大学,电子测试技术国家重点实验室,山西太原030051

出　　处：《微计算机信息》2007年第35期227-229,共3页Control & Automation

基　　金：国家自然科学基金重点项目(50535030;50405025;50375050);霍英东基金(01052)支持

摘　　要：微加速度计的可靠性问题是其能否迅速走向市场的关键。本文对压阻式悬臂梁加速度计在不同的环境下的失效模式进行了讨论,并给出了一些加速度计可靠性设计方面的建议,可以为其他科研工作者提供参考。The reliability of the micro-accelerometer, which is the critical factor for accelerometer running into the market. This paper discusses the failure modes of piezoresistive cantilevered accelerometer i ri different environment, and gives some advices about the design of the accelerometer, others could get some information from these advices.

关 键 词：可靠性 加速度计 失效模式 残余应力 

分 类 号：TN406[电子电信—微电子学与固体电子学]