凸角补偿

作品数：18被引量：35H指数：3
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KOH和TMAH基腐蚀液中凸角补偿结构的研究
《中国计量大学学报》2023年第3期421-428,共8页孙卫华 韩建强 徐宇翔 张智超 施阁 
浙江省自然科学基金重点项目(No.LZ22F040002)。
目的:在湿法各向异性腐蚀MEMS微结构过程中常出现凸角底切现象,需要设计凸角补偿图案以获得完整的凸角结构。方法:实验测量了不同电阻率的硅片在KOH和TMAH基腐蚀液中的底切率和八种凸角补偿图案的补偿深度,并与理论预测的补偿深度进行...
关键词：各向异性湿法腐蚀 凸角补偿 加速度计 底切率 补偿深度 
硅(100)晶面各向异性腐蚀的凸角补偿方法被引量：3
《传感器与微系统》2019年第3期25-27,共3页郭玉刚 吴佐飞 田雷 
针对单晶硅(100)晶面在氢氧化钾(KOH)腐蚀液中各向异性腐蚀时的削角问题,进行了一项凸角补偿实验。通过不同尺寸与形状组合的〈110〉条形补偿结构,对长方形凸台进行补偿,最终获取具有期望效果的补偿结构。该方法应用于压力传感器芯片的...
关键词：各向异性腐蚀 削角腐蚀 凸角补偿 过载保护 
用于承载铷原子钟滤光泡的高品质微腔体制备被引量：3
《传感器与微系统》2014年第5期106-110,共5页王婷婷 曾毅波 王盛贵 魏秀燕 毕瑞可 郭航 
福建省重大科技项目前期研究计划资助项目(2005HZ1021)
在芯片级铷原子钟中,需要微腔体来承载Rb—87滤光泡,为此,提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐蚀过程中凸角处产生削角现象,研究中采用了超声腐蚀技术和凸角补偿技术。首先,分别在纯KOH溶液,并结...
关键词：微腔体 铷原子钟 各项异性湿法腐蚀 超声腐蚀 激光共聚焦扫描显微镜 凸角补偿 
加速度传感器芯片湿法加工技术研究
《中国新技术新产品》2013年第12期29-30,共2页张岩 尚瑛琦 王晓光 刘智辉 
本文主要研究了加速度传感器芯片的湿法加工技术,主要包括KOH腐蚀中凸角补偿图形设计,引线电极保护技术,TMAH腐蚀技术等内容。本文设计了合理的凸角补偿图形,能够制作出完整的凸角结构。本文结合实际工艺中遇到的问题,讨论了湿法加工技...
关键词：加速度芯片 湿法腐蚀 KOH 凸角补偿 TMAH 
硅各向异性腐蚀技术研究被引量：3
《微处理机》2012年第6期12-13,19,共3页李倩 崔鑫 李湘君 
针对两种补偿结构探讨了硅的凸角腐蚀补偿原理,设计了补偿版图,并在KOH腐蚀液中进行实验验证,获得了好的直角凸面补偿效果。
关键词：氢氧化钾 湿法腐蚀 凸角补偿 
体硅湿法腐蚀中(110)衬底上的凸角补偿方法被引量：1
《东南大学学报（自然科学版）》2010年第4期750-754,共5页张涵 李伟华 
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007AA04Z342)
从硅晶胞的空间原子结构出发,对(110)衬底进行研究,提出了针对(110)衬底上规则目标凸角结构的通用补偿方法.以(100)衬底上已提出的图形分析和共性补偿方法为依据,确定了(110)衬底表面特征晶向的平面关系,将所选70℃30%(质量分数)的KOH...
关键词：(110)衬底 凸角补偿 拓扑结构 通用方法 
(100)面硅片各向异性腐蚀中的凸角补偿方式被引量：7
《纳米技术与精密工程》2008年第1期68-71,共4页郭涛 范波 郭虎岗 高健飞 
国家自然科学基金资助项目(50775209/E052502)
为了避免微加速度计在加工过程中,由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象,必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的要求,在腐蚀开始前设计好补偿的掩膜图形,使之在特定的腐蚀时间后显现出理想的凸角形状.以一种梁-质量...
关键词：梁-质量块结构微加速度计 湿法腐蚀 凸角补偿 各向异性腐蚀 
硅(100)晶面的凸角腐蚀及其补偿被引量：1
《微纳电子技术》2007年第2期93-96,共4页周丽玲 闫卫平 梁秀萍 
国家自然科学基金资助项目(60574092;60174034)
在进行Si(100)台面腐蚀时,由于硅的各向异性腐蚀特性,凸角处呈现严重切削现象。凸角侧向腐蚀程度与腐蚀深度、腐蚀温度、腐蚀剂配比等诸多因素有关。针对方形补偿结构探讨了凸角腐蚀的补偿原理,设计了补偿版图,并在KOH腐蚀液中进行实验...
关键词：各向异性腐蚀 凸角补偿 氢氧化钾腐蚀液 
一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计被引量：5
《传感技术学报》2006年第05B期1855-1858,1862,共5页任森 苑伟政 邓进军 
根据正方形膜片的变形和应力分布情况,提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法,设计了两种正方形间接连接式压力敏感膜片.在相同的膜片面积下,新膜片与原有矩形间接连接式压力敏感膜片性能相近,为内部谐振器的多样化提供了基...
关键词：谐振式压力传感器 敏感膜片 硅岛 凸角补偿 
在EPW中采用(100)硅制作微悬臂梁凸角补偿及工艺研究被引量：2
《黑龙江大学自然科学学报》2005年第5期697-700,共4页赵晓锋 温殿忠 
黑龙江大学集成电路重点实验室项目
(100)硅片在EPW腐蚀液中进行各向异性腐蚀时,因在(111)侧面相交的凸角处出现一些腐蚀速率较高的晶面,使微悬臂梁凸角掩膜下的硅受到侧向腐蚀,出现严重的凸角削角现象.研究采用EPW腐蚀(100)硅片制作微悬臂梁的凸角补偿方法及制作工艺,给...
关键词：EPW 微悬臂梁 凸角削角补偿 
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