任森

作品数：13被引量：66H指数：5
导出分析报告
供职机构：西北工业大学更多>>
发文主题：谐振式压力传感器谐振微机电系统硅MEMS更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程轻工技术与工程更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》《传感器与微系统》《机械工程学报》《传感技术学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金西北工业大学基础研究基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于多频扫描的硅微谐振压力传感器测试方法
《传感器与微系统》2017年第10期17-19,共3页程波 苑伟政 任森 王飞 
西北工业大学中央高校基本科研业务费资助项目(3102015BJ(II)MYZ24)
为了对硅微谐振压力传感器进行快速、高精度的开环特性测试,提出了一种基于多频扫描的频率特性测试方法。通过数字电路将多个不同频率的扫频信号叠加作为驱动信号,以实现在整个测试频带范围内高效且高精度的频率特性测试。搭建了以现场...
关键词：多频扫描 硅微谐振压力传感器 频率特性 
Pyrex 7740玻璃深刻蚀掩模研究被引量：2
《传感器与微系统》2014年第6期15-18,共4页王伟康 苑伟政 任森 邓进军 孙小东 
玻璃湿法深刻蚀掩模常采用低压化学气相沉积(LPCVD)多晶硅、Cr/Au金属层+光刻胶等,但往往会在玻璃中引入应力,影响后期应用(如阳极键合),而且Cr/Au金属层价格昂贵。为避免以上缺点,引入了SX AR—PC 5000/40保护胶+WBR2075干膜作为玻璃...
关键词：Pyrex7740玻璃 湿法腐蚀 刻蚀掩模 微机电系统 
静电激励硅微机械谐振压力传感器设计被引量：11
《传感器与微系统》2014年第1期64-67,71,共5页任森 苑伟政 邓进军 孙小东 
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(51105317);陕西省科技统筹创新工程计划资助项目(2011KTCQ01-26)
设计了一种静电激励／电容检测的硅微机械谐振压力传感器，采用改进的侧向动平衡双端固支音叉谐振器，利用基于绝缘体上硅的加工工艺制作。为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器的高度变化，在谐振器固定端设计了全新的桁架结构。针对...
关键词：谐振 压力传感器 静电激励 电容检测 绝缘体上硅 
便携式硅谐振式压力传感器数据采集系统被引量：1
《仪表技术与传感器》2013年第11期1-3,10,共4页朱霄波 苑伟政 任森 
针对硅谐振式压力传感器的使用需要,设计了一种基于FPGA平台的便携式数据采集系统。在分析传感器工作原理的基础上,提出使用等精度测频法实现对传感器输出信号的高精度采集,并搭建了基于LabVIEW的自动测试平台。通过与标准频率计对硅谐...
关键词：谐振式 压力传感器 数据采集 
硅微机械谐振压力传感器技术发展被引量：25
《机械工程学报》2013年第20期2-9,共8页苑伟政 任森 邓进军 乔大勇 
硅微机械谐振压力传感器是目前精度最高、长期稳定性最好的压力传感器之一,是航空航天、工业过程控制和其他精密测量领域压力测试的最佳选择。系统阐述30年来国内外硅微机械谐振压力传感器技术的研究成果,简单介绍硅微机械谐振压力传感...
关键词：微机械 谐振 压力传感器 谐振器 激励 检测 
孔结构对水平振动谐振器空气阻尼的比较分析被引量：2
《传感器与微系统》2013年第9期46-49,共4页孙晋川 乔大勇 任森 邓进军 
基于SOI工艺的水平振动梳状硅微谐振器的品质因数Q值在真空封装下能达到105量级以上。但是在常压下,由于受到空气阻尼的影响,其Q值往往降至102量级甚至更小。增加谐振器质量可以提高Q值,但是会增大谐振器面积使绝缘层难以释放。由此提...
关键词：SOI Q值 空气阻尼 水平振动 开孔硅微谐振器 
基于稳态扫频的MEMS谐振压力传感器芯片测试被引量：1
《微纳电子技术》2013年第4期224-228,254,共6页李晓莹 张艳飞 任森 邓进军 苑伟政 
针对硅微谐振式压力传感器开环测试的需求,提出了一种基于稳态扫频的硅微谐振式压力传感器芯片测试方法,实现了高精度扫频激励信号电路与高分辨率检测电路的设计。此设计将单片机技术与直接数字频率合成技术的优点相结合,实现了范围为1 ...
关键词：微机电系统(MEMS) 谐振式压力传感器 芯片测试 直接数字合成 扫频 
一种电容式传感器数字化通用检测接口设计被引量：13
《国外电子测量技术》2013年第1期62-65,共4页朱霄波 苑伟政 任森 
针对电容式传感器的微变电容检测困难的问题,提出了一种数字化的通用检测接口方案。分析了基于"激励-检测"的直接式微变电容测量原理,利用DDS发生载波,并采用离散傅里叶变换分离测量结果的幅值与相位以求得电容变化量。根据接近式电容...
关键词：电容式传感器 离散傅里叶变换 数字接口 
一种高指向性MEMS声矢量传感器结构设计与分析
《压电与声光》2012年第6期890-893,共4页刘振亚 苑伟政 邓进军 任森 马骋宇 
国家自然基金资助项目(50775189)
设计了一种高指向性微机电系统(MEMS)声矢量传感器,结构采用了硅-玻璃(SOG)工艺,增大流体间隙,减小振动阻尼,并利用ANSYS软件分析了流体间隙对指向性的影响,以验证结构的高指向性。结果表明,在流体间隙从5μm增大到30μm时,振动振幅增...
关键词：高指向性 微机电系统 声矢量传感器 流体间隙 相位差 
基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作被引量：5
《传感技术学报》2012年第2期180-183,共4页马志波 姜澄宇 任森 苑伟政 
西北工业大学基础研究基金项目(JC200933)
采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅...
关键词：谐振式压力传感器 三层薄膜保护工艺 敏感膜片 MEMS SOI 
全选清除导出
共2页<12>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部