谐振式压力传感器

作品数：58被引量：132H指数：8
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一种压电氮化铝双端固支音叉型微谐振器
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》2024年第12期1322-1330,共9页李浩霖 杨清瑞 原毅 刘伯华 孙崇玲 张孟伦 
国家重点研发计划资助项目(2020YFB2008800).
针对小型化高性能谐振式压力传感器的应用需求,提出一种以压电驱动氮化铝(AlN)双端固支音叉型(DETF)微谐振器为敏感元件的新型压力传感器,并设计加工了其核心元器件.首先,通过理论分析,研究了尺寸参数对谐振器在面内弯曲振动模式下的频...
关键词：微机电系统 压电驱动 双端固支音叉型谐振器 谐振式压力传感器 氮化铝薄膜 
低温度敏感度谐振式压力传感器设计与仿真被引量：1
《压电与声光》2024年第2期202-206,共5页李光贤 黄晶 袁宇鹏 杨靖 李春洋 张祖伟 龙帅 
国家重点研发计划项目“飞机PHM系统用传感器生产及批量测试平台”(2022YFB3206504)。
为降低材料杨氏模量温度漂移和热应力对谐振式压力传感器温度漂移的影响,该文设计了一种基于Si-SiO 2复合H形谐振梁和双谐振器结构的低温度敏感度谐振压力传感器。通过有限元仿真软件COMSOL对传感器进行仿真验证。结果表明,在0~350 kPa...
关键词：谐振式压力传感器 温度漂移 温度灵敏度漂移 温度补偿 
高精度高稳定气压测高系统被引量：1
《传感器与微系统》2023年第12期111-114,共4页陈旭磊 陈春梅 张文凯 高杨 
为满足无人机(UAV)在精准作业时对高度信息的高精度与高稳定性需求,设计了一种气压测高系统,并对其进行了实验验证与性能分析。该系统主要由自研功能主控板、MEMS谐振式压力传感器、上位机软件构成。主控板采用密集型4层制版,完成数据...
关键词：MEMS谐振式压力传感器 气压测高 温度补偿 高精度 
光热激励硅微谐振式压力传感器敏感结构热梯度分布研究
《仪器与设备》2023年第4期388-393,共6页王海榕 王亿文 史慧超 
本文以硅谐振式压力传感器为研究对象,建立了光热激励硅谐振敏感结构的有限元分析模型,通过ANSYS仿真分析研究了硅谐振敏感结构光热激励方式的动态热分布,揭示了光热激励产生的热量在谐振梁厚度方向激励振动的原因,仿真分析获得了光热...
关键词：压力传感器 谐振梁 光热激励 温度梯度 
基于MEMS谐振式气压传感器的数字高度计研制
《传感器与微系统》2023年第10期68-71,共4页范贤光 冒海凌 王昕 许英杰 
基于一种高精度MEMS谐振式气压传感器研制了用于辅助导航高度通道定位的数字高度计,利用谐振式压力传感器采集大气静压,并进行气压高度转换。采用复杂可编程逻辑器件(CPLD)+单片机(MCU)的硬件架构,通过等精度数字频率计和16位模/数(A/D...
关键词：数字高度计 MEMS谐振式压力传感器 温度补偿 
介质隔离高精度MEMS谐振式压力传感器被引量：8
《仪器仪表学报》2023年第4期219-227,共9页李传昊 王军波 商艳龙 谢波 张玉萍 
国家重点研发计划(2021YFB2012003);国家自然科学基金NSAF联合基金(U1930206,62121003,61825107);中科院关键技术团队(GJJSTD20210004);中科院青年创新促进会会员(2022121);山西省揭榜招标项目(20201101018)资助。
为满足液体、气体多种介质中高精度压力测量要求,本文设计了一种介质隔离的高精度微机械电子系统(MEMS)谐振式压力传感器。为降低充油封装过程中压力传递损耗以及非线性问题,本文对波纹膜片的结构参数进行了仿真优化并确定了适合传感器...
关键词：谐振式压力传感器 充油封装 温度自补偿 
石墨烯谐振式压力传感器的研究进展被引量：1
《仪表技术与传感器》2022年第4期1-8,共8页李子昂 毛亚民 李成 
深圳市科技计划项目(JCY20180504165721952);北京市自然科学基金项目(4212039)。
石墨烯是一种只有单原子层厚度的新材料,具有良好的导电性、导热性和力学性能,被广泛应用于诸多领域,由于石墨烯对气体的不透过性,被用于谐振式压力传感器的敏感元件。文中对石墨烯的特性进行了介绍,描述了目前石墨烯常用的制备和转移...
关键词：石墨烯 敏感元件 谐振 压力 传感器 品质因数 
H型梁谐振式MEMS压力传感器设计被引量：3
《合肥工业大学学报（自然科学版）》2022年第2期213-218,共6页黄崇勇 许高斌 陈兴 马渊明 
安徽省重点研发计划资助项目(1804a09020018);装备预研/教育部联合基金资助项目(6141A02022422);安徽高校协同创新资助项目(PA2019AGXC0128)。
谐振式微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)压力传感器因其灵敏度高、体积小等特点近年来被广泛研究。根据谐振梁在不同压力作用下发生振动时,轴向应力的改变引起谐振梁等效刚度变化,从而进一步改变谐振梁谐振频率的...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 谐振式压力传感器 电磁激励 频率测量 H型双端固支梁 
硅基与石墨烯基谐振式压力传感器研究进展被引量：3
《测控技术》2021年第11期1-10,共10页刘冠军 徐方松 刘瑛 郑贤德 王钦 邱静 
国家自然科学基金资助项目(5167562);重点实验室基金(6142215200304,6142003190202)。
谐振式压力传感器具有优异的传感性能,在航空航天、工业自动化控制等领域有着广泛的应用,开展谐振式压力传感器相关研究具有重要意义。简述了压力传感器标准指标体系,为传感器性能评价提供基础依据,回顾了近20年内硅基谐振式压力传感器(...
关键词：压力传感器 谐振式 性能指标 石墨烯 MEMS 
谐振式压力传感器自激驱动及非线性特性研究被引量：8
《传感器与微系统》2021年第8期20-23,27,共5页周孝 刘兴宇 丁徐锴 李宏生 
为了探究非线性刚度对谐振式压力传感器及其测控系统的影响,建立了基于非线性谐振器的直流AGC闭环自激模型,采用平均法进行模型的求解。在SIMULINK中搭建闭环自激系统的仿真模型,以验证平均法的求解结果以及研究非线性刚度对系统性能的...
关键词：谐振式压力传感器 闭环自激 平均法 非线性刚度 
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