氮化铝薄膜

作品数：109被引量：243H指数：8
导出分析报告
相关领域：电子电信理学更多>>
相关作者：许小红武海顺郝跃潘峰曾飞更多>>
相关机构：中国科学院电子科技大学清华大学上海大学更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金山西省自然科学基金国家重点基础研究发展计划教育部留学回国人员科研启动基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
硅掺杂对不同衬底的氮化铝薄膜的影响研究
《原子与分子物理学报》2025年第5期50-56,共7页王绪 杨发顺 熊倩 周柳含 马奎 
半导体功率器件可靠性教育部工程研究中心开放基金(ERCME-KFJJ2019-01)。
选择硅作为N型杂质源,采用高温热扩散的方式进行实验研究.采用磁控溅射法在硅/蓝宝石衬底上外延的AlN薄膜上沉积纯硅.硅的溅射时间决定了硅层的厚度,从而决定了硅的掺杂剂量.在氮气气氛下高温(1150℃)热扩散4小时后,AlN薄膜表面的硅原...
关键词：N型氮化铝 硅掺杂 磁控溅射 热扩散 衬底反扩散 
玻璃表面中频磁控溅射制备氮化铝薄膜的晶面择优取向调控
《真空科学与技术学报》2024年第12期1075-1083,共9页张丽娜 高飞 陆文琪 
氮化铝(AlN)是一种性能优异的陶瓷材料,在微电子、电子元件、高频宽带通信以及功率半导体器件等领域有广泛应用,然而AlN薄膜的一些特性具有显著的各向异性。因此,调控AlN薄膜的择优取向一直备受科研工作者的关注。文章利用中频反应磁控...
关键词：中频磁控溅射 玻璃基片 ALN薄膜 择优取向 
一种压电氮化铝双端固支音叉型微谐振器
《天津大学学报（自然科学与工程技术版）》2024年第12期1322-1330,共9页李浩霖 杨清瑞 原毅 刘伯华 孙崇玲 张孟伦 
国家重点研发计划资助项目(2020YFB2008800).
针对小型化高性能谐振式压力传感器的应用需求,提出一种以压电驱动氮化铝(AlN)双端固支音叉型(DETF)微谐振器为敏感元件的新型压力传感器,并设计加工了其核心元器件.首先,通过理论分析,研究了尺寸参数对谐振器在面内弯曲振动模式下的频...
关键词：微机电系统 压电驱动 双端固支音叉型谐振器 谐振式压力传感器 氮化铝薄膜 
高性能双模式压电驱动氮化铝音叉型谐振器
《传感技术学报》2024年第11期1849-1855,共7页原毅 杨清瑞 张志强 李浩霖 石帅 牛鹏飞 李全宁 陈雪娇 张孟伦 
国家重点研发计划项目(硅基压电薄膜及器件关键技术与平台)资助项目(2020YFB2008800)。
设计并制造了一种面向质量传感器应用的高性能双模式压电驱动音叉型谐振器。测试结果表明,真空中该谐振器扭转振动模式的Q值为9274,面内弯曲振动模式的Q值为11379;空气中两种振动模式的Q值分别为1019和1059,使该谐振器可以灵活应用在不...
关键词：微机电系统 质量传感器 有限元分析 微纳加工 压电驱动 氮化铝薄膜 音叉型谐振器 双模式 
Dy^(3+),Tb^(3+)共掺氮化铝薄膜结构与发光特性
《中国光学（中英文）》2024年第4期733-741,共9页罗璇 孟河辰 王晓丹 陈子航 曾雄辉 高晓冬 郑树楠 毛红敏 
国家自然科学基金资助项目(No.61974158,No.61306004);江苏省自然科学基金(No.BK20191456,No.BK20221263);江苏省“十四五”光学工程重点学科项目资助(No.2021135);江苏省研究生科研创新计划项目资助(No.KYCX22_3266)。
通过离子注入方法,首次将Dy^(3+)和Tb^(3+)共掺入氮化铝(AlN)薄膜,并研究了其晶体结构、阴极荧光和能量传递机制。拉曼光谱(Raman)和X射线衍射(XRD)结果显示,在Tb^(3+)剂量一定的情况下,Dy^(3+)的注入会导致晶格内部压应力增大,随着Dy^(...
关键词：镝离子 铽离子 氮化铝 发光特性 能量传递 
基于氮化铝薄膜的二维模态谐振器双模结构设计与仿真
《南通大学学报（自然科学版）》2024年第1期49-57,共9页赵继聪 王星宇 孙海燕 
国家自然科学基金面上项目(62174092)。
基于氮化铝(aluminum nitride,AlN)压电薄膜的二维模态谐振器(two-dimensional-mode resonators,2DMR)由于其较高的有效机电耦合系数k^(2)_(eff)及其与集成电路工艺兼容等优势,引起了业内广泛的关注。然而,传统的2DMR只研究单谐振模态,...
关键词：氮化铝 压电谐振器 二维模态 双模 有效机电耦合系数 滤波器氮化铝 滤波器 
边缘空气层薄膜体声波谐振器的设计与制备
《压电与声光》2024年第1期11-15,共5页朱宇涵 段兰燕 陈志鹏 许锴镔 胡晗 衣新燕 李国强 
国家重点研发计划项目(No.2022YFB3604500,No.2022YFB3604501)。
压电薄膜存在固有的对压电效应的非线性迟滞响应,并且声波有向边缘传播的横波分量,二者都会产生声波的能量损耗。该文设计了一种具有边缘空气层结构的单晶氮化铝薄膜体声波谐振器,可以减小非线性迟滞的机电损耗并阻止横波能量泄露,提高...
关键词：单晶氮化铝薄膜体声波谐振器 边缘空气层 有限元仿真 压电非线性效应 
金属调制分子束外延生长氮化铝薄膜被引量：1
《人工晶体学报》2023年第5期878-885,共8页刘欢 邵鹏飞 陈松林 周辉 李思琦 陶涛 谢自力 刘斌 陈敦军 郑有炓 张荣 王科 
国家自然科学基金(61974065);国家重点研发计划(2022YFB3605602);江苏省重点研发计划(BE2020004-3,BE2021026);江苏省特聘教授项目。
本文利用等离子体辅助分子束外延(PA-MBE)系统,对常规连续外延生长和金属调制外延(MME)生长AlN薄膜进行研究。研究发现:常规连续外延方法生长模式不易控制,容易出现过度富Al和富N模式生长,而且微富Al模式生长还会出现一些凹坑,表面形貌...
关键词：金属调制 分子束外延 外延生长 氮化铝 粗糙度 
基于Fano共振的折射率传感器设计
《青岛科技大学学报（自然科学版）》2022年第3期120-126,共7页韩程章 代美芹 赵秋玲 王霞 
国家自然科学基金项目(11874232);山东省重点研发计划项目(2018GGX101008)。
设计了一种由金红石棱镜、ITO薄膜、氟化镁薄膜、氮化铝薄膜和待测溶液层构成的新型折射率传感器。该传感器全部由非金属材料构成,通过采用ITO薄膜取代传统的金银薄膜作为等离子体材料,可以在近红外波段激发出表面等离子体激元,有利于...
关键词：Fano共振 氮化铝薄膜 折射率传感器 等离激元诱导反射 
原子层沉积超薄氮化铝薄膜的椭圆偏振光谱法表征被引量：1
《微纳电子技术》2022年第2期169-174,共6页瞿敏妮 乌李瑛 董学谦 沈贇靓 田苗 王英 程秀兰 
国家科技部“十三五”高性能计算重点研发计划项目子课题(2016YFB0200205);2018年度上海研发公共服务平台建设项目(18DZ2295400);上海交通大学决策咨询课题(JCZXSJB2019-005,JCZXSJB2020-010)。
采用原子层沉积(ALD)工艺在硅衬底上生长了35 nm以下不同厚度的超薄氮化铝(AlN)晶态薄膜。利用椭圆偏振光谱法在波长275~900 nm内测量并拟合薄膜的厚度及折射率和消光系数等光学参数。利用原子力显微镜(AFM)表征AlN晶粒尺寸随生长循环...
关键词：椭圆偏振光谱法 折射率 超薄膜 氮化铝(AlN) 原子层沉积(ALD) 
全选清除导出
共11页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部