王伟康

作品数：1被引量：2H指数：1
导出分析报告
供职机构：西北工业大学更多>>
发文主题：微机电系统谐振SOI闭环回路发生器更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
Pyrex 7740玻璃深刻蚀掩模研究被引量：2
《传感器与微系统》2014年第6期15-18,共4页王伟康 苑伟政 任森 邓进军 孙小东 
玻璃湿法深刻蚀掩模常采用低压化学气相沉积(LPCVD)多晶硅、Cr/Au金属层+光刻胶等,但往往会在玻璃中引入应力,影响后期应用(如阳极键合),而且Cr/Au金属层价格昂贵。为避免以上缺点,引入了SX AR—PC 5000/40保护胶+WBR2075干膜作为玻璃...
关键词：Pyrex7740玻璃 湿法腐蚀 刻蚀掩模 微机电系统 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部