孙晋川

作品数：1被引量：2H指数：1
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孔结构对水平振动谐振器空气阻尼的比较分析被引量：2
《传感器与微系统》2013年第9期46-49,共4页孙晋川 乔大勇 任森 邓进军 
基于SOI工艺的水平振动梳状硅微谐振器的品质因数Q值在真空封装下能达到105量级以上。但是在常压下,由于受到空气阻尼的影响,其Q值往往降至102量级甚至更小。增加谐振器质量可以提高Q值,但是会增大谐振器面积使绝缘层难以释放。由此提...
关键词：SOI Q值 空气阻尼 水平振动 开孔硅微谐振器 
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