马志波

作品数：9被引量：26H指数：4
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供职机构：西北工业大学更多>>
发文主题：光纤F-P腔微机电系统高深宽比传感器MEMS传感器更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《航空精密制造技术》《激光与光电子学进展》《强激光与粒子束》更多>>
所获基金：国家自然科学基金西北工业大学基础研究基金四川省非金属复合与功能材料重点实验室一省部共建国家重点实验室培育基地开放基金国家高技术研究发展计划更多>>
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光楔式光纤法布里-珀罗传感器相关干涉信号特性分析被引量：7
《激光与光电子学进展》2018年第11期108-114,共7页陈青青 唐瑛 王可宁 陈海滨 马志波 
国家自然科学基金(31671002);陕西省光电测试与仪器技术重点实验室开放基金(2015SZSJ-60-3)
为了精确提取相关干涉信号的峰值位置,为光楔式光纤法布里-珀罗传感器的相关干涉解调机制提供理论借鉴,数值模拟了3种典型的光源光谱分布的相关干涉信号,并对所获得的相关干涉信号进行了详细的对比分析,综合讨论了不同光源光谱分布条件...
关键词：光纤光学 光纤法布里-珀罗传感器 相关干涉信号 峰值位置 光谱分布 信号对比度 
MEMS冷气推力器的制作和热性能研究被引量：1
《推进技术》2017年第7期1641-1647,共7页康宝鹏 赵学聪 乔大勇 马志波 李昭 吴树范 张传鑫 
中科院微小卫星重点实验室开放课题基金(KFKT13SYS1);陕西省微/纳米系统重点实验室开放课题基金(NCSA0004-SM003)
为了研究MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)冷气推力器的热性能,介绍了一种MEMS冷气推力器的设计和制作,该推力器体积小(40mm×20mm×1mm),重量轻(1g),功耗低。对推力器加热丝不同电压和环境下进行了热仿真,对组装到电路板上的推...
关键词：MEMS 微推力器 制作 加热丝 热特性 
惯性约束聚变靶中硅支撑冷却臂的制备被引量：1
《强激光与粒子束》2013年第12期3251-3254,共4页张继成 罗跃川 马志波 杨苗 周民杰 李佳 吴卫东 唐永建 
国家自然科学基金项目(60908023);四川省非金属复合与功能材料重点实验室开放基金项目(11zxfk19;10zxfk34)
论述了基于反应离子深刻蚀技术加工惯性约束聚变(ICF)靶的硅支撑冷却臂。利用扫描电子显微镜、白光干涉仪和视觉显微系统等对所制备的硅支撑冷却臂的形貌、侧壁陡直度和卡爪径向形变量等参数进行了表征分析。分析结果表明,硅支撑冷却臂...
关键词：惯性约束聚变靶 硅支撑冷却臂 反应离子深刻蚀 
基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作被引量：5
《传感技术学报》2012年第2期180-183,共4页马志波 姜澄宇 任森 苑伟政 
西北工业大学基础研究基金项目(JC200933)
采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅...
关键词：谐振式压力传感器 三层薄膜保护工艺 敏感膜片 MEMS SOI 
一种硅深刻蚀中抑制Lag效应的新方法被引量：2
《航空精密制造技术》2010年第3期9-11,共3页张洪海 苑伟政 马志波 
在MEMS器件加工过程中,采用ICP刻蚀不同深宽比的三维结构时,由于Lag效应的影响,使较大尺寸的线条有较快的刻蚀速率,导致刻蚀深度的差异。为了抑制Lag效应,本文以S.L.Lai的三阶段模型为基础,提出一种可以对Lag效应进行补偿的刻蚀模型。
关键词：MEMS Lag效应 刻蚀模型 刻蚀速率 
工艺偏差对压阻式硅微压力传感器性能的影响
《航空精密制造技术》2010年第2期13-16,40,共5页冯立杰 马炳和 马志波 朱延波 
国家自然科学基金(50775188);863计划(2007AA04Z347)资助项目
工艺实践表明,采用体硅湿法刻蚀工艺加工压阻式微型压力传感器时,敏感膜片会存在厚度偏差,电阻条偏离应力最大区域导致位置偏差,电阻条偏离期望的[110]晶向造成角向偏差。结合工艺实验并借助有限元法分析了上述几种主要工艺偏差对灵敏...
关键词：压阻式硅微压力传感器 工艺偏差 灵敏度 线性度 有限元法 
MEMS微结构粘附问题研究
《航空精密制造技术》2006年第6期9-11,共3页马志波 乔大勇 苑伟政 姜澄宇 李晓莹 
阐述了表面工艺制造MEMS时造成粘附现象的主要方面,并对其进行了完整的理论分析,得出粘附力的大小与器件所处环境的湿度、温度和结构的材料、表面情况以及相对运动等因素有关,并简介了各种技术方法在结构防粘附中的应用。
关键词：微机电系统 粘附 毛细引力 范德瓦耳斯力 氢健 
一种基于静电排斥力的纵向微驱动器研究被引量：6
《传感技术学报》2006年第6期2662-2664,共3页乔大勇 苑伟政 马志波 李开成 李晓莹 
国家自然科学基金资助(90407020);西北工业大学博士论文创新基金资助
为了消除静电塌陷对静电吸引力微驱动器冲程的限制,设计了一种基于静电排斥力的纵向微驱动器实现结构,其可动电极和固定电极在工作过程中互相远离,可以从根本上解决静电塌陷问题,且冲程不受牺牲层厚度的限制;借助Maxwell2D软件,采用数...
关键词：静电排斥力 纵向微驱动器 冲程 微机电系统 
一种新型CCD图像采集系统设计被引量：4
《传感技术学报》2006年第4期1250-1252,共3页马志波 乔大勇 虞益挺 苑伟政 姜澄宇 
国家自然科学基金项目资助(90407020)
结合电荷耦合器件和外围设备,介绍了一种CCD图像数据采集系统设计。采用74HC04逻辑非芯片将模数转换芯片和数据缓存芯片之间的CLK信号适当延迟,解决了图像数据模数转换后输出到FIFO缓存的时序控制问题。通过电路设计解决了微控制器难以...
关键词：ICX038BLA 驱动电路 电荷耦合器件 FIFO 
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