杨苗

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：西北工业大学机电学院空天微纳系统教育部重点实验室更多>>
发文主题：硅反应离子深刻蚀更多>>
发文领域：化学工程更多>>
发文期刊：《强激光与粒子束》更多>>
所获基金：四川省非金属复合与功能材料重点实验室一省部共建国家重点实验室培育基地开放基金国家自然科学基金更多>>
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惯性约束聚变靶中硅支撑冷却臂的制备被引量：1
《强激光与粒子束》2013年第12期3251-3254,共4页张继成 罗跃川 马志波 杨苗 周民杰 李佳 吴卫东 唐永建 
国家自然科学基金项目(60908023);四川省非金属复合与功能材料重点实验室开放基金项目(11zxfk19;10zxfk34)
论述了基于反应离子深刻蚀技术加工惯性约束聚变(ICF)靶的硅支撑冷却臂。利用扫描电子显微镜、白光干涉仪和视觉显微系统等对所制备的硅支撑冷却臂的形貌、侧壁陡直度和卡爪径向形变量等参数进行了表征分析。分析结果表明,硅支撑冷却臂...
关键词：惯性约束聚变靶 硅支撑冷却臂 反应离子深刻蚀 
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