李开成

作品数：2被引量：7H指数：1
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供职机构：西北工业大学更多>>
发文主题：微机电系统冲程微变形镜斥力弹性梁更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《光电工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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环形阵列微变形镜两种设计准则的分析比较被引量：1
《光电工程》2006年第12期109-112,共4页李开成 苑伟政 乔大勇 姜澄宇 李晓莹 
国家自然科学基金资助项目(90407020)
在波前校正中,环形阵列的分立式微变形镜充分利用了各个单元。环形阵列的分立式微变形镜有等单元面积和等单元宽度两种设计准则,以37单元环形阵列微变形镜为例,从校正波前适配误差和校正后剩余波前的Strehl比两方面对两种设计准则进行...
关键词：微机电系统 环形微变形镜 波前适配误差 Strehl比 
一种基于静电排斥力的纵向微驱动器研究被引量：6
《传感技术学报》2006年第6期2662-2664,共3页乔大勇 苑伟政 马志波 李开成 李晓莹 
国家自然科学基金资助(90407020);西北工业大学博士论文创新基金资助
为了消除静电塌陷对静电吸引力微驱动器冲程的限制,设计了一种基于静电排斥力的纵向微驱动器实现结构,其可动电极和固定电极在工作过程中互相远离,可以从根本上解决静电塌陷问题,且冲程不受牺牲层厚度的限制;借助Maxwell2D软件,采用数...
关键词：静电排斥力 纵向微驱动器 冲程 微机电系统 
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