王盛贵

作品数：3被引量：7H指数：2
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供职机构：厦门大学物理与机电工程学院更多>>
发文主题：铷原子钟硅片惰性气体沟道更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程电气工程更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》《传感技术学报》更多>>
所获基金：福建省重大科技项目国家高技术研究发展计划更多>>
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用于承载铷原子钟滤光泡的高品质微腔体制备被引量：3
《传感器与微系统》2014年第5期106-110,共5页王婷婷 曾毅波 王盛贵 魏秀燕 毕瑞可 郭航 
福建省重大科技项目前期研究计划资助项目(2005HZ1021)
在芯片级铷原子钟中,需要微腔体来承载Rb—87滤光泡,为此,提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐蚀过程中凸角处产生削角现象,研究中采用了超声腐蚀技术和凸角补偿技术。首先,分别在纯KOH溶液,并结...
关键词：微腔体 铷原子钟 各项异性湿法腐蚀 超声腐蚀 激光共聚焦扫描显微镜 凸角补偿 
带有Si_3N_4薄膜的玻璃-硅-玻璃三层结构的阳极键合被引量：3
《传感器与微系统》2013年第8期63-66,70,共5页林智鑫 王盛贵 刘琦 曾毅波 郭航 
福建省重大科技项目前期研究资助项目(2009HZ1021);国家"863"计划专题资助项目(2007AA04Z330)
为了获得高品质的带有Si3N4薄膜三层(玻璃—硅—玻璃)的阳极键合结构,对阳极键合的相关工艺参数进行了研究;设计搭建了实验平台并采用点阴极,以实时观察键合界面是否达到同形质的黑色从而判断阳极键合质量,对键合后的样品进行拉力测试,...
关键词：阳极键合 Si3N4薄膜 玻璃-硅-玻璃 三层键合 
用于微小型化铷原子钟的MEMS Rb-85滤光泡的研究被引量：2
《传感技术学报》2009年第5期659-663,共5页郭航 王盛贵 
福建省重大科技项目前期研究项目资助(2005HZ1021);厦门大学引进人才科研启动基金资助(0000-X07191)
研究并提出一种分析设计Rb气泡原子钟微型Rb-85滤光泡的方法。从量子物理出发,通过为Rb灯的发射光谱引入Lorentzian线形函数,得到一个滤光泡内的光强与入射光强的关系式,其中包含了跃迁系数,频移,谱线宽度等参数,通过研究确定这些参数...
关键词：量子物理 Rb-85滤光泡 MEMS Rb原子钟 线宽 频移 
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