魏秀燕

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：厦门大学物理与机电工程学院更多>>
发文主题：铷原子钟铷原子频标激光共聚焦扫描显微镜微腔更多>>
发文领域：电子电信机械工程更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》《纳米技术》更多>>
所获基金：福建省重大科技项目更多>>
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一种用于微小型铷原子频标的6.83 GHz谐振腔
《纳米技术》2014年第2期31-38,共8页魏秀燕 吴静 夏瑞 郭航 
福建省重大科技项目前期研究(2005HZ1021)。
研制了一种用于微小型铷原子频标的6.83 GHz微波谐振腔。对谐振腔内的电磁场、谐振频率与探针的关系进行了分析,并应用Ansoft HFSS软件进行填充介质的谐振腔进行了仿真分析。在此基础上对介质谐振腔进行设计与加工制造,测量出填充不同...
关键词：铷气室型原子频标 微小型化 微机电系统(MEMS) 填充介质谐振腔 谐振频率 
用于承载铷原子钟滤光泡的高品质微腔体制备被引量：3
《传感器与微系统》2014年第5期106-110,共5页王婷婷 曾毅波 王盛贵 魏秀燕 毕瑞可 郭航 
福建省重大科技项目前期研究计划资助项目(2005HZ1021)
在芯片级铷原子钟中,需要微腔体来承载Rb—87滤光泡,为此,提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐蚀过程中凸角处产生削角现象,研究中采用了超声腐蚀技术和凸角补偿技术。首先,分别在纯KOH溶液,并结...
关键词：微腔体 铷原子钟 各项异性湿法腐蚀 超声腐蚀 激光共聚焦扫描显微镜 凸角补偿 
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