曾毅波

作品数：16被引量：57H指数：5
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发文主题：微机电系统微型直接甲醇燃料电池化学机械抛光流场板直接甲酸燃料电池更多>>
发文领域：电子电信电气工程机械工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《中国塑料》《太阳能学报》《传感技术学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金福建省重大科技项目教育部“新世纪优秀人才支持计划”福建省科技计划重点项目更多>>
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MEMS中基底和薄膜的CMP制造技术被引量：7
《光学精密工程》2018年第6期1450-1461,共12页曾毅波 张杰 许马会 郝锐 沈杰男 周辉 郭航 
福建省高校产学合作项目资助项目(No.2015H6021)
化学机械抛光(Chemical&Mechanical Polishing,CMP)工艺已运用于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)中,并逐渐成为研制高品质微纳器件不可或缺的一道关键技术。区域压力调整、抛光终点检测等技术已经引入到CMP工艺,确保...
关键词：化学机械抛光 微机电系统 区域压力调整 终点检测 表面粗糙度 
基于MEMS技术的F-P腔滤波器分析与设计被引量：4
《传感器与微系统》2017年第8期69-71,74,共4页李元元 蒙庆华 陈四海 曾毅波 郭航 
深圳市科技计划资助项目(JCYJ20140610151856737)
通过对微光纤法布里-珀罗(F-P)腔滤波器工作原理的综合分析,确立了微F-P腔滤波器静电驱动腔长调谐方案。对可调谐滤波器的主体部分进行光学设计和分析,确立了反射镜的多层薄膜光学结构,并借助ANSYS有限元力电耦合分析,最终选择L型桥臂...
关键词：滤波器 调谐 反射镜 腔体结构 
化学气相沉积法制备单层石墨烯的优化被引量：5
《微纳电子技术》2017年第3期181-187,共7页毕瑞可 张杰 吴玉玲 曾毅波 张为中 郭航 
厦门市科技项目(3502Z20143003)
作为碳原子家族的最新成员,二维结构的石墨烯具备优异的物理化学性质和广阔的应用前景,成为新材料研究领域的热点研究对象。对化学气相沉积(CVD)法进行了优化,成功制备得到了高质量的单层石墨烯。优化后的实验工艺为:首先对铜箔进行化...
关键词：石墨烯 化学气相沉积(CVD) 表征 单层 大面积 
微F-P腔可调谐滤波器关键工艺研究
《传感器与微系统》2016年第10期8-11,共4页李元元 蒙庆华 陈四海 曾毅波 郭航 
深圳市科技研发资金资助项目(JCYJ20140529163538765)
采用表面加工工艺,AZ5214E光刻胶进行光刻并反转,磁控溅射Ni Cr合金,剥离出高度为2.3μm的金属桥墩,填充聚酰亚胺作为牺牲层,再在牺牲层上光刻、沉积金属形成金属桥面,在金属桥面的中心嵌入第二布拉格反射镜。采用O2等离子体刻蚀去除聚...
关键词：微法布里—珀罗(F-P)腔 光刻反转 磁控溅射 剥离 
用于承载铷原子钟滤光泡的高品质微腔体制备被引量：3
《传感器与微系统》2014年第5期106-110,共5页王婷婷 曾毅波 王盛贵 魏秀燕 毕瑞可 郭航 
福建省重大科技项目前期研究计划资助项目(2005HZ1021)
在芯片级铷原子钟中,需要微腔体来承载Rb—87滤光泡,为此,提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐蚀过程中凸角处产生削角现象,研究中采用了超声腐蚀技术和凸角补偿技术。首先,分别在纯KOH溶液,并结...
关键词：微腔体 铷原子钟 各项异性湿法腐蚀 超声腐蚀 激光共聚焦扫描显微镜 凸角补偿 
基于COMSOL的微型直接甲醇燃料电池的数值模拟被引量：2
《纳米技术》2014年第1期1-7,共7页赵祖光 刘俊 陈观生 曾毅波 王婷婷 郭航 
国家自然科学基金重点项目60936003。
利用CFD软件COMSOL对微型直接甲醇燃料电池(Micro Direct Methanol Fuel Cell, µDMFC)进行模拟仿真分析,该三维稳态模型综合考虑了电化学动力学、化学反应和组分传递的耦合过程,分析了电池内部物质的传输与扩散层和催化层的结构参...
关键词：μDMFC COMSOL 数值模拟 催化层 扩散层 
基于透明的不同流道宽度微型直接甲醇燃料电池的性能比较与分析
《太阳能学报》2014年第2期366-372,共7页曾毅波 刘俊 陈观生 赵祖光 郭航 
国家自然科学基金重点项目(60936003)
以微型直接甲醇燃料电池(Micro Direct Methanol Fuel Cell,简称μ-DMFC)输出性能为研究对象,首先通过MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微机电系统)工艺,分别制作4种透明的不同流道宽度(800、400、200、100μm)的阳极流场板,并...
关键词：μ-DMFC MEMS 透明流道 流道宽度 流速 
微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备被引量：3
《厦门大学学报（自然科学版）》2013年第5期627-632,共6页陶也 曾毅波 刘畅 林杰 郭航 
航空科学基金项目(2008ZH68002)
获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤.首先在理论分析的基础上,确定了微型电容式压力传感器的基本参数,而后在制备中,发展了一种新型的硅基薄膜制作方法,即利用硅-玻璃键合工艺,结合浓KOH溶液超...
关键词：微机电系统 电容式压力传感器 硅薄膜 超声腐蚀 化学机械抛光 
带有Si_3N_4薄膜的玻璃-硅-玻璃三层结构的阳极键合被引量：3
《传感器与微系统》2013年第8期63-66,70,共5页林智鑫 王盛贵 刘琦 曾毅波 郭航 
福建省重大科技项目前期研究资助项目(2009HZ1021);国家"863"计划专题资助项目(2007AA04Z330)
为了获得高品质的带有Si3N4薄膜三层(玻璃—硅—玻璃)的阳极键合结构,对阳极键合的相关工艺参数进行了研究;设计搭建了实验平台并采用点阴极,以实时观察键合界面是否达到同形质的黑色从而判断阳极键合质量,对键合后的样品进行拉力测试,...
关键词：阳极键合 Si3N4薄膜 玻璃-硅-玻璃 三层键合 
基于Fluent的微型直接甲醇燃料电池阳极流场结构分析被引量：2
《传感器与微系统》2013年第3期17-20,共4页陈观生 曾毅波 刘俊 赵祖光 林杰 郭航 
国家自然科学基金重点资助项目(60936003)
微型直接甲醇燃料电池中阳极流场结构对电池的性能有着重要的影响。为了合理设计阳极流场结构,改善甲醇燃料在阳极流场中的分布,采用计算流体动力学(CFD)软件Fluent对微型直接甲醇燃料电池进行建模并仿真分析。分析比较了点型、平行和蛇...
关键词：微型直接甲醇燃料电池 流场结构 计算流体动力学 FLUENT 
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