张杰

作品数：5被引量：14H指数：2
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供职机构：厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院更多>>
发文主题：石墨烯表面粗糙度MEMSCMP基底更多>>
发文领域：电子电信电气工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《微纳电子技术》《中国粉体工业》更多>>
所获基金：厦门市科技计划项目国家自然科学基金更多>>
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锂离子电池负极材料Cu_(2)ZnSnS_(4)的研究现状
《微纳电子技术》2019年第6期440-449,共10页陈新 张杰 郭航 
国家自然科学基金资助项目(60936003)
Cu_2ZnSnS_4(CZTS)不仅是传统太阳能吸收器的一种很有前途的替代品,也是一种性能优异的锂离子电池负极材料。以锂离子电池负极材料CZTS为研究对象,对其制备、改性方法、合成和储锂机理以及国内外的研究进展进行了系统性综述,阐述了当前C...
关键词：Cu_(2)ZnSnS_(4)(CZTS) 锂离子电池 负极材料 改性 储锂机理 
MEMS中基底和薄膜的CMP制造技术被引量：7
《光学精密工程》2018年第6期1450-1461,共12页曾毅波 张杰 许马会 郝锐 沈杰男 周辉 郭航 
福建省高校产学合作项目资助项目(No.2015H6021)
化学机械抛光(Chemical&Mechanical Polishing,CMP)工艺已运用于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)中,并逐渐成为研制高品质微纳器件不可或缺的一道关键技术。区域压力调整、抛光终点检测等技术已经引入到CMP工艺,确保...
关键词：化学机械抛光 微机电系统 区域压力调整 终点检测 表面粗糙度 
直接甲醇燃料电池非贵金属阳极催化剂研究进展
《中国粉体工业》2018年第1期37-43,共7页于晓颖 张杰 
作为燃料电池的核心组成部分,催化剂的性能直接决定了燃料电池整体的性能.直接甲醇燃料电池（DMFCs）具有高能量转换效率、高能量密度、低环境污染等优点成为新能源研究领域的热点研究课题.阳极催化剂的性能直接影响着DMFCs的使用价值....
关键词：直接甲醇燃料电池 非贵金属 阳极催化剂 
石墨烯湿法转移过程工艺优化被引量：2
《微纳电子技术》2017年第8期565-569,579,共6页吴玉玲 毕瑞可 张杰 吴长青 张为中 郭航 
厦门市科技项目(3502Z20143003)
石墨烯的转移过程决定着石墨烯的品质,进而对石墨烯基器件的性能有重要的影响。针对化学气相沉积(CVD)法生长的石墨烯在湿法转移过程中存在的问题,在常规湿法转移的基础上进行了优化研究。实验结果表明:基体背面石墨烯的刻蚀工艺可以有...
关键词：石墨烯 湿法转移 刻蚀 涂胶 超声处理 
化学气相沉积法制备单层石墨烯的优化被引量：5
《微纳电子技术》2017年第3期181-187,共7页毕瑞可 张杰 吴玉玲 曾毅波 张为中 郭航 
厦门市科技项目(3502Z20143003)
作为碳原子家族的最新成员,二维结构的石墨烯具备优异的物理化学性质和广阔的应用前景,成为新材料研究领域的热点研究对象。对化学气相沉积(CVD)法进行了优化,成功制备得到了高质量的单层石墨烯。优化后的实验工艺为:首先对铜箔进行化...
关键词：石墨烯 化学气相沉积(CVD) 表征 单层 大面积 
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