张为中

作品数：2被引量：7H指数：2
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供职机构：中国电信集团更多>>
发文主题：石墨烯CVD化学气相沉积法化学气相沉积超声处理更多>>
发文领域：电子电信更多>>
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石墨烯湿法转移过程工艺优化被引量：2
《微纳电子技术》2017年第8期565-569,579,共6页吴玉玲 毕瑞可 张杰 吴长青 张为中 郭航 
厦门市科技项目(3502Z20143003)
石墨烯的转移过程决定着石墨烯的品质,进而对石墨烯基器件的性能有重要的影响。针对化学气相沉积(CVD)法生长的石墨烯在湿法转移过程中存在的问题,在常规湿法转移的基础上进行了优化研究。实验结果表明:基体背面石墨烯的刻蚀工艺可以有...
关键词：石墨烯 湿法转移 刻蚀 涂胶 超声处理 
化学气相沉积法制备单层石墨烯的优化被引量：5
《微纳电子技术》2017年第3期181-187,共7页毕瑞可 张杰 吴玉玲 曾毅波 张为中 郭航 
厦门市科技项目(3502Z20143003)
作为碳原子家族的最新成员,二维结构的石墨烯具备优异的物理化学性质和广阔的应用前景,成为新材料研究领域的热点研究对象。对化学气相沉积(CVD)法进行了优化,成功制备得到了高质量的单层石墨烯。优化后的实验工艺为:首先对铜箔进行化...
关键词：石墨烯 化学气相沉积(CVD) 表征 单层 大面积 
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