刘琦

作品数：3被引量：4H指数：1
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发文主题：磁控溅射锂离子电池超声MEMS器件MEMS更多>>
发文领域：电气工程电子电信生物学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划福建省重大科技项目中国航空科学基金更多>>
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微型薄膜锂离子电池正极材料LiCoO_2薄膜研究
《传感器与微系统》2016年第11期23-25,29,共4页刘琦 刘畅 吴长青 郭航 
国家自然科学基金资助项目(60976082;60936003)
研究了应用于微型全固态薄膜锂离子电池的正极材料钴酸锂LiCoO_2薄膜材料,采用磁控溅射法来制备,对其进行400℃退火处理后,进行XRD分析和SEM分析,表明在低气压条件下制备的薄膜呈非晶态,经过退火后,形成了排列致密的晶体结构,薄膜沿(003...
关键词：磁控溅射 LiCoO_2薄膜 薄膜锂离子电池 正极材料 
带有Si_3N_4薄膜的玻璃-硅-玻璃三层结构的阳极键合被引量：3
《传感器与微系统》2013年第8期63-66,70,共5页林智鑫 王盛贵 刘琦 曾毅波 郭航 
福建省重大科技项目前期研究资助项目(2009HZ1021);国家"863"计划专题资助项目(2007AA04Z330)
为了获得高品质的带有Si3N4薄膜三层(玻璃—硅—玻璃)的阳极键合结构,对阳极键合的相关工艺参数进行了研究;设计搭建了实验平台并采用点阴极,以实时观察键合界面是否达到同形质的黑色从而判断阳极键合质量,对键合后的样品进行拉力测试,...
关键词：阳极键合 Si3N4薄膜 玻璃-硅-玻璃 三层键合 
微型薄膜锂离子电池负极材料SnO_x掺杂Cu研究被引量：1
《传感器与微系统》2013年第5期21-23,27,共4页刘畅 郭建来 林杰 刘琦 郭航 
国家自然科学基金资助项目(60976082;60936003);航空科学基金资助项目(2008ZH68002)
研究了掺杂Cu的Sn的氧化物薄膜,它可以作为微型薄膜锂电池负极材料。这种薄膜是采用磁控溅射的方式,在硅基底上沉积了SnOx和金属Cu。XRD分析和SEM观察表明:随着金属Cu掺杂量的增加,所制备薄膜由晶态趋向于非晶态,有利于锂离子的嵌入与...
关键词：磁控溅射 氧化锡薄膜 掺杂Cu 微型薄膜锂离子电池 负极材料 
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