刘畅

作品数：7被引量：12H指数：2
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发文主题：微机电系统磁控溅射锂离子电池医学知识标签更多>>
发文领域：经济管理自动化与计算机技术化学工程电气工程更多>>
发文期刊：《传感技术学报》《国际人才交流》《传感器与微系统》《厦门大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金中国航空科学基金更多>>
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中国,我不见外
《国际人才交流》2019年第1期63-65,共3页潘维廉 刘畅(译) 
1988年,我举家搬到厦门。那时候我们从来没想到,中国的变化将如此之大,我们的生活也会随之改变。即使最近为了实现长期可持续发展,中国经济速度放缓,步入新常态,中国的改变依然更加广泛、更加精细。这为中外人民创造了前所未有的机遇,...
关键词：中国 可持续发展 经济速度 
微型薄膜锂离子电池正极材料LiCoO_2薄膜研究
《传感器与微系统》2016年第11期23-25,29,共4页刘琦 刘畅 吴长青 郭航 
国家自然科学基金资助项目(60976082;60936003)
研究了应用于微型全固态薄膜锂离子电池的正极材料钴酸锂LiCoO_2薄膜材料,采用磁控溅射法来制备,对其进行400℃退火处理后,进行XRD分析和SEM分析,表明在低气压条件下制备的薄膜呈非晶态,经过退火后,形成了排列致密的晶体结构,薄膜沿(003...
关键词：磁控溅射 LiCoO_2薄膜 薄膜锂离子电池 正极材料 
微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备被引量：3
《厦门大学学报（自然科学版）》2013年第5期627-632,共6页陶也 曾毅波 刘畅 林杰 郭航 
航空科学基金项目(2008ZH68002)
获得均匀、平整的硅基薄膜是制备出高灵敏度的微型电容式压力传感器的关键步骤.首先在理论分析的基础上,确定了微型电容式压力传感器的基本参数,而后在制备中,发展了一种新型的硅基薄膜制作方法,即利用硅-玻璃键合工艺,结合浓KOH溶液超...
关键词：微机电系统 电容式压力传感器 硅薄膜 超声腐蚀 化学机械抛光 
微机械圆盘谐振器的结构分析被引量：1
《厦门大学学报（自然科学版）》2013年第4期506-511,共6页郭建来 刘畅 王建艳 林杰 郭航 
航空科学基金项目(2008ZH68002)
运用ANSYS对圆盘谐振器的结构进行有限元分析,并结合集总参数模型,确定了圆盘谐振器锚点尺寸与位置对圆盘谐振器性能的影响,包括谐振频率,振幅与品质因子(Q).在此基础上,提出了一种在圆盘谐振器高阶模式的节点环处做锚点的方案,不仅可...
关键词：微机械圆盘谐振器 集总参数模型 有限元 锚点 品质因子 高阶谐振模式 
微型薄膜锂离子电池负极材料SnO_x掺杂Cu研究被引量：1
《传感器与微系统》2013年第5期21-23,27,共4页刘畅 郭建来 林杰 刘琦 郭航 
国家自然科学基金资助项目(60976082;60936003);航空科学基金资助项目(2008ZH68002)
研究了掺杂Cu的Sn的氧化物薄膜,它可以作为微型薄膜锂电池负极材料。这种薄膜是采用磁控溅射的方式,在硅基底上沉积了SnOx和金属Cu。XRD分析和SEM观察表明:随着金属Cu掺杂量的增加,所制备薄膜由晶态趋向于非晶态,有利于锂离子的嵌入与...
关键词：磁控溅射 氧化锡薄膜 掺杂Cu 微型薄膜锂离子电池 负极材料 
采用硅和PDMS的堆栈式微型直接甲醇燃料电池的设计和制作被引量：5
《传感技术学报》2013年第2期143-149,共7页曾毅波 陈观生 赵祖光 刘畅 刘俊 王婷婷 郭航 
国家自然科学基金重点项目(60936003)
在堆栈式微型直接甲醇燃料电池μ-DMFC(Micro-Direct Methanol Fuel Cell)中,为了避免硅基流场板因为封装压力过大而破裂,采用了硅和PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)材料分别制作阳极和阴极流场板。首先,采用微机电系统MEMS(...
关键词：堆栈式微型直接甲醇燃料电池 微机电系统 PDMS流场板 金属化 
运用研磨和化学机械抛光技术制备高品质的石英薄膜被引量：2
《传感技术学报》2013年第1期1-6,共6页曾毅波 刘畅 陈观生 赵祖光 郭航 
国家自然科学基金重点项目(60936003)
石英薄膜的质量是决定各种石英基底的微纳器件品质高低的关键所在。阐述如何运用研磨和化学机械抛光CMP(Chemical&Mechanical Polishing)技术获得高品质石英薄膜的方法。由于石英属于高硬度材料,选用金刚石研磨液和球墨铸铁研磨盘对石...
关键词：微机电系统MEMS(Micro—Electro—Mechanical Systems) 石英薄膜 研磨 CMP 
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