林智鑫

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：厦门大学更多>>
发文主题：阳极键合硅SI键合三层结构更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》更多>>
所获基金：福建省重大科技项目国家高技术研究发展计划更多>>
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带有Si_3N_4薄膜的玻璃-硅-玻璃三层结构的阳极键合被引量：3
《传感器与微系统》2013年第8期63-66,70,共5页林智鑫 王盛贵 刘琦 曾毅波 郭航 
福建省重大科技项目前期研究资助项目(2009HZ1021);国家"863"计划专题资助项目(2007AA04Z330)
为了获得高品质的带有Si3N4薄膜三层(玻璃—硅—玻璃)的阳极键合结构,对阳极键合的相关工艺参数进行了研究;设计搭建了实验平台并采用点阴极,以实时观察键合界面是否达到同形质的黑色从而判断阳极键合质量,对键合后的样品进行拉力测试,...
关键词：阳极键合 Si3N4薄膜 玻璃-硅-玻璃 三层键合 
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