张岩

作品数:6被引量:1H指数:1
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供职机构:中国电子科技集团公司更多>>
发文主题:湿法腐蚀KOHTMAH薄膜电阻流量传感器更多>>
发文领域:自动化与计算机技术环境科学与工程电子电信化学工程更多>>
发文期刊:《中文科技期刊数据库(文摘版)工程技术》《仪表技术与传感器》《中国新技术新产品》《电子材料与电子技术》更多>>
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高温压力传感器测试标定系统的研究
《中文科技期刊数据库(文摘版)工程技术》2021年第7期170-171,共2页张岩 吴佐飞 尚瑛琪 
鉴于现有压力传感器校准系统存在精度低和自动化程度低的问题,选择高精度压力传感器作为系统参考压力传感器,并选择了多功能压力腔和压力调节模块来配合使用具有粗调和细调的设计。基于C++编程语言编写系统软件,构建了高精度的压力传感...
关键词:压力传感器 高精准度 自动化 校准 
关键基础设施信息泄漏风险量化评估办法探讨
《电子材料与电子技术》2021年第1期35-41,共7页张岩 
关键基础设施是指一旦遭到破坏、丧失功能或者数据泄露,可能严重危害国家安全、军事安全、国计民生、公共利益的基础设施,包括国家党政机关、军队、重要行业、重点公共服务等领域的关键基础设施。这些设施是敌对势力平时重点关注对象和...
关键词:信息泄漏 关键基础设施 信息安全威胁 危害国家安全 物理空间 安全防护 涉密数据 丧失功能 
基于PKI和IBC混合构建的公钥应用模式研究
《电子材料与电子技术》2018年第1期11-16,22,共7页张岩 
PKI(Public Key Infrastructure)和IBC(Identity—Based Cryptograph)体系是目前研究和使用最多的两种公钥密码技术体系。PKI体系虽得到了广泛的应用,但其证书的使用和管理比较复杂。IBC是一种无证书的公钥密码技术,使用比较简单...
关键词:公钥密码技术 公钥基础设施 标识密码 多安全要素 标识 鉴别 
流量传感器中敏感薄膜电阻制备及其特性分析被引量:1
《仪表技术与传感器》2016年第5期12-14,共3页齐虹 李玉玲 王晓光 张岩 寇文兵 
通过对热膜式流量传感器中敏感薄膜电阻制备技术的研究,分别介绍了流量传感器中敏感薄膜电阻设计的基本原理、敏感薄膜生长方法及一些具体应用实例。分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素,提高了敏感薄膜电阻的温度系数,制作出了具...
关键词:流量传感器 敏感薄膜电阻 温度系数 
加速度传感器芯片湿法加工技术研究
《中国新技术新产品》2013年第12期29-30,共2页张岩 尚瑛琦 王晓光 刘智辉 
本文主要研究了加速度传感器芯片的湿法加工技术,主要包括KOH腐蚀中凸角补偿图形设计,引线电极保护技术,TMAH腐蚀技术等内容。本文设计了合理的凸角补偿图形,能够制作出完整的凸角结构。本文结合实际工艺中遇到的问题,讨论了湿法加工技...
关键词:加速度芯片 湿法腐蚀 KOH 凸角补偿 TMAH 
微薄膜结构的湿法腐蚀技术研究
《信息技术》2012年第6期108-110,共3页李玉玲 齐虹 张岩 
通过对流量传感器制造工艺中微薄膜结构的研究,分别介绍了采用氢氧化钾和四甲基氢氧化铵(TMAH)交替腐蚀实现感应薄膜释放的基本原理、工艺方法、工艺参数,及在制作流量芯片中的具体应用实例,实现了微米级厚度薄膜释放,为流量传感器和其...
关键词:湿法腐蚀 薄膜释放 TMAH KOH 
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