尚瑛琦

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加速度传感器芯片湿法加工技术研究
《中国新技术新产品》2013年第12期29-30,共2页张岩 尚瑛琦 王晓光 刘智辉 
本文主要研究了加速度传感器芯片的湿法加工技术,主要包括KOH腐蚀中凸角补偿图形设计,引线电极保护技术,TMAH腐蚀技术等内容。本文设计了合理的凸角补偿图形,能够制作出完整的凸角结构。本文结合实际工艺中遇到的问题,讨论了湿法加工技...
关键词：加速度芯片 湿法腐蚀 KOH 凸角补偿 TMAH 
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