加速度传感器芯片湿法加工技术研究  

作　　者：张岩[1] 尚瑛琦[1] 王晓光[1] 刘智辉[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《中国新技术新产品》2013年第12期29-30,共2页New Technology & New Products of China

摘　　要：本文主要研究了加速度传感器芯片的湿法加工技术,主要包括KOH腐蚀中凸角补偿图形设计,引线电极保护技术,TMAH腐蚀技术等内容。本文设计了合理的凸角补偿图形,能够制作出完整的凸角结构。本文结合实际工艺中遇到的问题,讨论了湿法加工技术中引线电极的保护方法,包括TMAH腐蚀技术的应用。制作出的加速度传感器芯片灵敏度大于0.1mV/g,非线性优于1%,横向灵敏度比小于3%。

关 键 词：加速度芯片 湿法腐蚀 KOH 凸角补偿 TMAH 

分 类 号：TP21[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]