李玉玲

作品数：5被引量：7H指数：2
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
发文主题：BCB苯并环丁烯键合加速度计毛细作用更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信化学工程更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》《传感器与微系统》《中国新技术新产品》《信息技术》更多>>
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集成加速度传感器敏感芯片性能影响因素及其仿真分析被引量：1
《传感器与微系统》2016年第8期30-32,36,共4页齐虹 王明伟 丁文波 李玉玲 王晓光 
从集成加速度传感器敏感芯片结构参数的设计入手,分析了支撑梁厚度、电容初始间隙、质量块等敏感芯片结构参数对传感器灵敏度、非线性等性能的影响。同时利用结构分析软件ANSYS进行仿真分析,并对优化后的敏感芯片结构参数进行验证,结果...
关键词：集成加速度传感器 敏感芯片 结构参数 
流量传感器中敏感薄膜电阻制备及其特性分析被引量：1
《仪表技术与传感器》2016年第5期12-14,共3页齐虹 李玉玲 王晓光 张岩 寇文兵 
通过对热膜式流量传感器中敏感薄膜电阻制备技术的研究,分别介绍了流量传感器中敏感薄膜电阻设计的基本原理、敏感薄膜生长方法及一些具体应用实例。分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素,提高了敏感薄膜电阻的温度系数,制作出了具...
关键词：流量传感器 敏感薄膜电阻 温度系数 
三层硅加速度敏感芯片BCB键合工艺研究被引量：3
《传感器与微系统》2015年第3期37-39,43,共4页刘智辉 田雷 李玉玲 尹延昭 
采用非光敏苯并环丁烯(BCB)进行MEMS压阻式加速度敏感芯片三层结构制作。BCB键合具有工艺温度低、键合表面要求低等特点,适用于芯片的圆片级封装。但是固化过程中BCB粘度随温度升高而下降,流动性变大,在毛细作用的影响下沿着微小间隙流...
关键词：微机电系统 三层硅 加速度计 苯并环丁烯 键合 毛细作用 
微薄膜结构的湿法腐蚀技术研究
《信息技术》2012年第6期108-110,共3页李玉玲 齐虹 张岩 
通过对流量传感器制造工艺中微薄膜结构的研究,分别介绍了采用氢氧化钾和四甲基氢氧化铵(TMAH)交替腐蚀实现感应薄膜释放的基本原理、工艺方法、工艺参数,及在制作流量芯片中的具体应用实例,实现了微米级厚度薄膜释放,为流量传感器和其...
关键词：湿法腐蚀 薄膜释放 TMAH KOH 
低应力Si_3N_4介质膜的制备工艺优化被引量：2
《中国新技术新产品》2010年第14期18-18,共1页李海博 齐虹 王晓光 李玉玲 
低应力Si3N4介质膜对于制作微结构传感器是非常重要的。本文通过采用正交试验设计,优化出Si3N4介质膜制备的低应力工艺参数,并给出了Si3N4薄膜应力的测试方法和测试结果。
关键词：正交试验 低应力Si3N4 优化 应力测试 
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