各向异性腐蚀

作品数：137被引量：300H指数：9
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基于硅模具制作的纳米裂纹及应变传感器
《微纳电子技术》2021年第4期337-341,共5页张之昊 李浩然 张思琦 刘军山 
国家重点研发计划资助项目(2020YFB2008500);国家自然科学基金资助项目(51875083);大连市科技创新基金资助项目(2020JJ25CY018)。
纳米裂纹制造技术作为一种非传统的纳米加工技术被应用于纳米线条、纳流控芯片和传感器等众多研究领域,然而纳米裂纹生成的随机性及其图案的不确定性限制了该项技术的发展。利用硅模具以及二次倒模工艺,在聚二甲基硅氧烷(PDMS)基底表面...
关键词：应变传感器 纳米裂纹 纳米加工技术 硅各向异性腐蚀 聚二甲基硅氧烷(PDMS)二次倒模 应变灵敏系数(GF) 
一种面向MEMS矢量水听器的硅纳米线制备方法被引量：2
《中北大学学报（自然科学版）》2020年第5期455-460,共6页史一明 齐秉楠 白建新 宋金龙 王卫东 王任鑫 
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(61604134);国防科技重点实验室基金(6142109KF201804);博士后特别资助计划(2017T100171);实验室开放基金(JZ2018036WR)。
为了进一步提高MEMS矢量水听器灵敏度,把硅纳米线作为压敏单元,将硅纳米线工艺引入到MEMS矢量水听器制备过程中,利用其所具有的巨压阻效应来提高MEMS矢量水听器的灵敏度.本文提出了一种自上而下的微加工工艺方法,将TMAH(四甲基氢氧化铵...
关键词：MEMS矢量水听器 硅纳米线 自上而下法 TMAH各向异性腐蚀 干法刻蚀 半导体工艺 
硅(100)晶面各向异性腐蚀的凸角补偿方法被引量：3
《传感器与微系统》2019年第3期25-27,共3页郭玉刚 吴佐飞 田雷 
针对单晶硅(100)晶面在氢氧化钾(KOH)腐蚀液中各向异性腐蚀时的削角问题,进行了一项凸角补偿实验。通过不同尺寸与形状组合的〈110〉条形补偿结构,对长方形凸台进行补偿,最终获取具有期望效果的补偿结构。该方法应用于压力传感器芯片的...
关键词：各向异性腐蚀 削角腐蚀 凸角补偿 过载保护 
用于X射线闪烁屏的硅微通道阵列整形技术
《半导体技术》2018年第8期603-609,共7页余金豪 杨炳辰 杨超 陈奇 凌海容 王蓟 王国政 杨继凯 端木庆铎 
国家自然科学基金资助项目(61107027,51502023);吉林省科技厅重点科技研发项目(20180201033GX);吉林省教育厅资助项目(20160358)
为制备用于X射线闪烁屏的高开口面积比硅微通道阵列,研究了四甲基氢氧化铵（TMAH）溶液温度和质量分数对硅（100）晶面和（110）晶面腐蚀速率的影响。通过金相显微镜观测硅微通道端面尺寸并计算腐蚀速率,分析了硅（100）晶面和（110）...
关键词：X射线闪烁屏 硅微通道阵列 各向异性腐蚀 整形技术 开口面积比 
MEMS中硅各向异性腐蚀特性研究被引量：3
《电子工业专用设备》2018年第4期14-17,共4页刘伟伟 吕菲 常耀辉 李聪 宋晶 
在碱性溶液中硅单晶片因晶向不同其刻蚀速率出现差异,利用这一特点制作三维结构器件;刻蚀速率与三维结构的形状和精度相关,刻蚀的表面粗糙度与器件的性能有关;根据各向异性腐蚀机理可知,刻蚀速率强烈依赖单晶晶向,刻蚀温度和刻蚀液的组...
关键词：各向异性腐蚀 微电子机械系统(MEMS) 刻蚀速率 表面粗糙度 添加剂 
硅各向异性腐蚀的仿真模型研究
《电子科技》2018年第2期56-60,共5页严一峰 方玉明 
江苏省自然科学基金(BK20131380);南京邮电大学大学生创新训练计划项目(XYB2017057)
为了在硅衬底上加工出多样的微结构,满足微机电系统的发展,硅各向异性腐蚀的仿真模型被大量研究。从衬底模型、腐蚀规则的制定、腐蚀速率、时间步长的角度出发,介绍了这些要素对几何模型和原子模型所包含多种仿真方法的模拟精度和模拟...
关键词：硅 各向异性腐蚀 仿真方法 模拟精度和模拟效率 
MEMS用硅单晶缺陷对各向异性腐蚀的影响被引量：2
《微纳电子技术》2017年第10期720-724,共5页韩焕鹏 杨静 杨洪星 
为了满足微电子机械系统(MEMS)器件制作要求,各向异性腐蚀加工后的硅衬底需具有良好的表面质量。针对MEMS用硅单晶在各向异性腐蚀加工过程中出现的腐蚀表面粗糙、不平整问题,采用常规直拉(Cz)单晶、掺锗直拉单晶和磁场直拉单晶等不同工...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 硅单晶 各向异性腐蚀 氧杂质浓度 微缺陷 氧沉淀 
基于无掩模腐蚀技术的高性能微加速度传感器被引量：1
《传感器与微系统》2016年第3期53-55,59,共4页袁明权 唐彬 孙远程 熊壮 彭勃 
国家自然科学基金资助项目(51305412;61404121);行业预先研究项目(426010104);中国工程物理研究院超精密加工重点实验室资助项目(2012CJMZZ00003)
针对深沟槽内结构制作困难的问题,基于单晶硅各向异性腐蚀原理,推导了{100}单晶硅在KOH溶液中无掩模腐蚀过程台阶宽度与无掩模腐蚀深度之间的解析表达式,通过工艺实验确定了单晶硅{311}面与{100}面的腐蚀速率比;采用适合于三明治微加速...
关键词：微机械加工 微加速度传感器 各向异性腐蚀 无掩模 阳极键合 
NaClO/IPA体系制备单晶硅太阳能电池绒面的研究
《厦门理工学院学报》2014年第5期25-29,34,共6页孙东亚 何丽雯 廉冀琼 
福建省中青年教师教育科研项目(JB14077)
采用NaClO和IPA体系对单晶硅各向异性腐蚀制备绒面.通过紫外可见光光度计和扫描电镜对硅绒面的反射率、形貌进行了表征.结果表明,当NaClO为10%(质量分数,下同),IPA为5%,腐蚀温度为80℃,腐蚀时间为15 min时,能够得到均匀单晶硅绒面,硅片...
关键词：次氯酸钠 硅制绒 各向异性腐蚀 太阳能电池 
改进的硅各向异性腐蚀GPU并行模拟被引量：1
《计算机应用》2013年第12期3317-3320,共4页陈劲源 李建华 郭卫斌 
国家自然科学基金资助项目(60703026);国家科技重大专项(2011ZX09307-002-03)
硅各向异性腐蚀过程复杂,采用元胞自动机模拟硅各向异性腐蚀非常耗时。为了加速腐蚀模拟过程,研究了基于图形处理器(GPU)进行硅的各向异性腐蚀模拟。针对串行算法直接并行化方法存在加速效率低等问题,提出了一个改进的并行模拟方法。该...
关键词：各向异性腐蚀 元胞自动机 模拟 图形处理器 并行计算 
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