无掩模

作品数：61被引量：124H指数：6
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磁场对无掩模定域性电沉积-增材制造三维微结构生长模式的影响
《中国机械工程》2024年第11期2035-2042,共8页吴蒙华 姜炳春 肖雨晴 贾卫平 
国家自然科学基金(51875071);广东省普通高校科研重点专项(2023ZDZX3048)。
为研究磁场对无掩模定域性电沉积增材制造(MLED-AM)金属三维微结构生长模式的作用,以制备直径为50μm、长径比为10∶1的微镍柱为例,在MLED-AM过程中分别施加一定强度且与电场作用方向相同的顺向磁场和与电场作用方向相反的逆向磁场,通...
关键词：磁场 无掩模定域性电沉积 增材制造 三维微结构 生长模式 
基于DMD的无掩模光刻图形精准性优化方法(特邀)
《中国激光》2024年第12期398-408,共11页刘华 黄龙 刘雨晴 
国家自然科学基金面上项目(62275044,61875036);济南市“新高校20条”引进创新团队项目(202228047)。
基于数字微镜器件(DMD)的无掩模光刻技术作为一种新兴技术在光刻领域备受关注,该技术利用DMD实现光刻掩模的数字化控制,为微纳米加工和快速原型制作提供了一种全新的解决方案。然而,在DMD无掩模光刻技术中还存在着一些问题,如投影畸变...
关键词：投影光刻 数字微镜器件 光刻质量 飞秒激光 
无掩模定域性电沉积微镍柱工艺研究
《机械设计与制造》2024年第4期159-164,共6页吴蒙华 佐姗姗 贾卫平 于昇元 
国家自然科学基金资助项目—无掩模定域性电沉积增材制造高深宽比三维金属微结构的关键技术研究(51875071)。
无掩模定域性电沉积技术是一种以增材制造方式进行电化学沉积的先进制造方法。用定域性电沉积方法沉积微镍柱结构,通过实体显微镜和扫描电镜观察微镍柱沉积高度、直径及微观形貌,并根据测量结果计算平均沉积速率,设计双因素实验研究脉...
关键词：定域性 电化学沉积 微镍柱 工艺研究 添加剂 
电子束光刻制备In-Ga-Zn-O场效应晶体管
《半导体技术》2023年第11期991-994,1019,共5页杜晓松 王宇 孔祥兔 
江苏省高层次创新创业人才引进计划(JSSCRC2021534);江苏省科技副总项目(FZ20221005);常州市领军型创新人才引进培育项目(CQ20210116);常州大学引进人才启动经费资助项目(ZMF20020444)。
无掩模直写技术制备半导体器件的方法在微电子学领域受到了广泛关注。提出了采用电子束直写技术对SnO_(2)薄膜进行图形化并辐照改性的方法,成功制备了以SnO_(2)为源/漏电极的底栅型铟镓锌氧化物(IGZO)场效应晶体管(FET)并对其进行了测...
关键词：电子束光刻 无掩模版图形化 直写技术 氧化物半导体器件 In-Ga-Zn-O 
曲线型微纳拓扑结构的制备及细胞行为调控被引量：2
《中国激光》2023年第15期191-201,共11页郭敏 刘享洋 董贤子 刘洁 金峰 郑美玲 
国家自然科学基金(61975213,61475164);中国科学院国际伙伴计划(GJHZ2021130);中奥国际合作项目(GJHZ1720);国家重点研发计划(2016YFA0200501)。
生物材料的表面拓扑结构能够显著影响细胞的黏附、增殖、迁移和分化等行为.为有效模拟体内细胞微环境,利用飞秒激光无掩模光学投影光刻技术制备了一系列曲线型拓扑结构.结果表明:细胞在沟槽、折线和三种不同曲率的波浪形拓扑结构上严格...
关键词：医用光学 飞秒激光 无掩模光学投影光刻 曲线型拓扑结构 细胞迁移 细胞骨架 
基于405nm LED光源DMD无掩模光刻SU-8的特征尺寸研究
《中国科技期刊数据库 工业A》2023年第4期166-169,共4页陈启明 宋显文 傅仁轩 周金运 胡益铭 
SupportedbyGuangzhouScienceandTechnologyPlanningProject(广州市科技计划项目,No.202102021302),FoundationforHigh-LevelTalentsinHigherEducationofGDPIC(广东工贸高层次人才专项基金,No.2021-gc-03,2021-gc-04)。
SU-8光刻胶具有良好的机械性能、耐化学腐蚀性和高的热稳定性,已成为制作高纵横比聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流控芯片阳模的首选材料。本文突破了SU-8光致抗蚀剂在365 nm-400 nm波长范围内感光区的限制,通过多次曝光积累曝光强度,达到SU-8...
关键词：SU-8 PDMS DMD 无掩模光刻 特征尺寸 
基于无掩模光刻的生物透镜阵列组装方法
《中国科学：技术科学》2023年第4期536-546,共11页寮欣 于海波 葛治星 张天尧 仲亚 刘斌 刘连庆 
国家自然科学基金(批准号:61727811)资助项目。
在微纳光学领域,透明的介质微球和活体生物细胞都因具备光学成像能力,而受到研究者越来越多的关注.然而,由于其尺寸和生物活性限制,很难将它们直接集成到光学系统上.基于光镊、声镊等多物理场方法虽然可以操作微球和细胞用于成像,但是...
关键词：生物透镜 无掩模光刻 细胞透镜 光学成像 超分辨 
无掩模定域性电沉积微镍柱成形过程研究被引量：1
《电加工与模具》2022年第4期41-44,52,共5页刘涛 贾卫平 吴蒙华 刘赛赛 肖雨晴 
国家自然科学基金项目(51875071)。
为探究无掩模定域性电沉积微镍柱的成形过程,通过控制沉积时间利用体视显微镜观测微镍柱的形貌及尺寸,并采用Comsol软件研究不同沉积阶段下的阴极电流密度分布,验证了微镍柱的生长成形过程及其定域性。结果表明:电沉积成形微镍柱的过程...
关键词：无掩模 定域性 电沉积 尖端效应 
国产光刻机技术发展史话
《环球财经》2022年第8期34-37,共4页王维 
光刻机,也称为曝光机,是一种特殊类型的精密照相机。光刻技术经过60年奇迹般地发展,由原来最简单的真空吸附接触式曝光,发展到投影曝光、分步重复曝光、扫描式曝光、浸没式曝光、反射式曝光甚至无掩模直写式曝光;曝光光源也由绿光、紫...
关键词：电子束曝光 光刻机 光刻技术 扫描式 曝光机 无掩模 真空吸附 浸没式 
基于数字微镜器件的无掩模数字光刻技术研究进展被引量：3
《激光与光电子学进展》2022年第11期141-150,共10页谢芳琳 王雷 黄胜洲 
安徽省自然科学基金(2008085QE258,1808085QA12,1808085ME117);安徽省自然科学重点研究项目(KJ2019A0156);安徽工程大学增材制造研究项目(2020ybxm08);安徽工程大学人才引进科研基金(2018YQQ027)。
无掩模光刻技术具有无需物理掩模、成本低、适合大批量生产的优点,在微结构制作中得到了广泛应用。基于数字微镜器件(DMD)的无掩模数字光刻技术具有分辨率高、灵活性好、加工精度高等优势,成为近年来数字光刻领域的研究热点。综述了DMD...
关键词：光学设计 无掩模 数字微镜器件 扫描光刻技术 步进式光刻技术 灰阶光刻技术 
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