国产光刻机技术发展史话  

作　　者：王维 

机构地区：[1]不详

出　　处：《环球财经》2022年第8期34-37,共4页Global Finance

摘　　要：光刻机,也称为曝光机,是一种特殊类型的精密照相机。光刻技术经过60年奇迹般地发展,由原来最简单的真空吸附接触式曝光,发展到投影曝光、分步重复曝光、扫描式曝光、浸没式曝光、反射式曝光甚至无掩模直写式曝光;曝光光源也由绿光、紫外光、深紫外光发展到极紫外光甚至采用电子束曝光。

关 键 词：电子束曝光 光刻机 光刻技术 扫描式 曝光机 无掩模 真空吸附 浸没式 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]