曝光机

作品数：281被引量：562H指数：5
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：薛虹顾文琪方光荣冯京张福安更多>>
相关机构：京东方科技集团股份有限公司中国科学院东莞市多普光电设备有限公司武汉华星光电技术有限公司更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于接近接触式曝光机的暗场对准技术
《电子工业专用设备》2024年第5期47-51,共5页王振宇 周卓跃 李康平 
为了解决接近接触式曝光机实际生产过程中标记范围较小的问题,设计一种气缸控制结构。配合显微镜的升降和显微镜的光路,形成一套适用于接近接触式曝光机的暗场对准的软硬件技术,实现了暗场掩膜对准的成本降低,提升了接近接触式曝光机的...
关键词：曝光机 暗场对准 误差补偿 
电子束曝光机图形发生器系统研究
《装备制造技术》2024年第9期175-178,共4页何远湘 苏鑫 梁文彬 黄云 
电子束曝光机是半导体晶片的制造过程中制造掩膜片或自写硅片的非常重要的设备。电子束曝光机可以在非常小的区域内进行高精度的曝光,从而实现对芯片的精细图案及图形制作。它由电子源、电子光学系统、扫描系统、真空系统、恒温控制系...
关键词：电子束曝光机 图形发生器 束闸、标记、DAC转接 
电子束曝光机子系统光柱控制器设计
《电子工业专用设备》2024年第4期30-35,共6页何远湘 龙会跃 梁文彬 苏鑫 
为了提高电子束曝光机光柱控制器稳定性和控制精度,通过多年研究提出了一套功能较为完备的新型光柱控制的硬件设计方案,通过对电子束聚焦、对中、偏转、扫描曝光等参数精准控制,将图形发生器产生各项数字信号变换成对应的模拟量,稳定地...
关键词：电子束曝光机 光柱 聚焦 束闸 偏转 数模转换(DAC)转接 
探讨PCB曝光机定位平台精度的提升
《印制电路信息》2023年第9期13-16,共4页方林 李辉 
为了减轻印制电路板(PCB)曝光机精密定位平台因直线电机发热而引起定位精度变化的问题,设计了一种定位平台直线电机散热方案用于提升散热效率,从而提升定位平台定位精度。试验测试结果表明:定位平台增加了强制风冷装置,电机的温度变化...
关键词：曝光机 定位平台 直线电机 散热 定位精度 
曝光机对印制电路板阻焊层品质的影响
《印制电路信息》2023年第4期39-45,共7页付凤奇 余为勇 王俊 谢伦魁 
在印制电路板(PCB)阻焊层制作中,曝光环节尤为重要,不同颜色的阻焊油墨均会吸收紫外光,造成光固化,不同曝光机产生的紫外光波长不同,造成阻焊油墨光固化的程度也不同。以直接成像(DI)曝光机、卤素灯曝光机、发光二极管(LED)灯曝光机3种...
关键词：直接成像曝光机 曝光波长 冷热冲击测试 侧蚀 阻焊油墨 
发光二极管光源引起的阻焊膜波纹改善被引量：1
《印制电路信息》2023年第4期46-49,共4页廖根望 
分析发光二极管(LED)生产制造中阻焊膜缺陷的原因,通过鱼骨图对阻焊膜波纹产生的原因进行分析,列出主要影响因素。根据阻焊膜感光特性,分别验证感光固化条件、不同LED对阻焊膜波纹的影响性测试。实验结果表明:LED光源不能对底层油墨进...
关键词：发光二极管(LED)曝光机 UV光波长 吸收光谱 感光固化 
国产光刻机技术发展史话
《环球财经》2022年第8期34-37,共4页王维 
光刻机,也称为曝光机,是一种特殊类型的精密照相机。光刻技术经过60年奇迹般地发展,由原来最简单的真空吸附接触式曝光,发展到投影曝光、分步重复曝光、扫描式曝光、浸没式曝光、反射式曝光甚至无掩模直写式曝光;曝光光源也由绿光、紫...
关键词：电子束曝光 光刻机 光刻技术 扫描式 曝光机 无掩模 真空吸附 浸没式 
用于LED曝光的柔性感光树脂版
《印刷杂志》2022年第2期27-29,共3页Christian Apenberg 赵嵩(译) 
最近四十多年,柔性版制版和印刷技术一直在不断进步,柔印的应用范围在持续扩大,实现了更高的印刷品质。柔印使用的感光树脂版及制作工艺对最终的印刷质量具有决定性影响。柔性版制版厂可以从各种U V曝光设备中选择适合其个性化需求的设...
关键词：柔性版 传统曝光机 LED曝光系统 
曝光机中LED光源替代传统汞灯的技术探讨被引量：1
《印制电路信息》2022年第3期21-25,共5页李香华 许培战 胡荫敏 
PCB行业传统普通曝光机使用汞灯光源发射出紫外线光(UV),这UV汞灯为热光源,缺点温度高、耗电量大并且产生臭氧造成环境危害;近几年流行的LED为冷光源,相对UV汞灯发热量低、耗电量少且不产生有害物质。因此PCB普通曝光机新推出的设备逐...
关键词：图形转移 LED光源 汞灯 曝光机 
彩膜曝光机自动补偿功能在高精细产品中的应用研究
《光学与光电技术》2021年第5期95-100,共6页李石雷 刘超强 吴东起 邱靖文 
薄膜晶体管-液晶显示行业(TFT-LCD)高精细产品需求越来越多,尤其当8.5代及以上大世代线生产手机等小尺寸产品时,彩膜曝光机的曝光均一性及叠层(Overlay)精度难以保证的问题突出,影响大世代线高精细产品的开发及生产。通过对彩膜曝光机...
关键词：高精细 彩膜曝光机 曝光均一性 叠层精度 自动补偿 
全选清除导出
共28页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部