电子束曝光机

作品数：152被引量：496H指数：4
导出分析报告
相关领域：电子电信更多>>
相关作者：顾文琪薛虹方光荣张玉林张福安更多>>
相关机构：中国科学院山东大学山东工业大学中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目中国科学院知识创新工程国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
电子束曝光机图形发生器系统研究
《装备制造技术》2024年第9期175-178,共4页何远湘 苏鑫 梁文彬 黄云 
电子束曝光机是半导体晶片的制造过程中制造掩膜片或自写硅片的非常重要的设备。电子束曝光机可以在非常小的区域内进行高精度的曝光,从而实现对芯片的精细图案及图形制作。它由电子源、电子光学系统、扫描系统、真空系统、恒温控制系...
关键词：电子束曝光机 图形发生器 束闸、标记、DAC转接 
电子束曝光机子系统光柱控制器设计
《电子工业专用设备》2024年第4期30-35,共6页何远湘 龙会跃 梁文彬 苏鑫 
为了提高电子束曝光机光柱控制器稳定性和控制精度,通过多年研究提出了一套功能较为完备的新型光柱控制的硬件设计方案,通过对电子束聚焦、对中、偏转、扫描曝光等参数精准控制,将图形发生器产生各项数字信号变换成对应的模拟量,稳定地...
关键词：电子束曝光机 光柱 聚焦 束闸 偏转 数模转换(DAC)转接 
4700S电子束曝光机图形曝光模式及其应用
《微处理机》2014年第5期8-10,13,共4页董磊 
通过对MEBES 4700S电子束曝光机不同图形曝光模式特性的比较和分析,得到其在160MHz和320MHz曝光像素频率和不同设计栅格尺寸下的适用范围,以利用MEBES 4700S生产具有期望精度值图形的掩模版,达到最佳的制版效果。
关键词：MEBES 4700S 电子束曝光机 图形曝光模式 
一种复合调整型精密高压电源
《现代电子技术》2011年第24期14-17,共4页陈振生 刘伯强 殷淑霞 祁爽 
为保证电子束曝光机用高压电源既有高静态精度,又有高动态稳定性,采用直接调整和间接调整相结合的复合调整方案,同时采用集中补偿和分散补偿相结合的复合补偿方案。为实现高压稳压电源系统的高精密、高稳定和低纹波电压等技术指标,采取...
关键词：电子束曝光机 高压电源 制版精度 复合补偿 
精密高压稳压电源的研究与设计被引量：2
《电子设计工程》2011年第14期123-126,共4页陈振生 胡咏梅 李长青 
介绍了用于新型电子束曝光机的30 kV精密高压稳压电源。该电源系统采用了直接调整和间接调整相结合的双闭环调整方案,采用了集中补偿和分散补偿相结合的系统补偿方式,成功地解决了既有高静态精度又有高动态稳定性的问题。为了保证高精...
关键词：电子束曝光机 精密 高电压 调整 补偿 
基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器设计被引量：2
《电子工业专用设备》2009年第4期19-24,共6页李勇滔 韩立 薛虹 殷伯华 刘俊标 
基于激光干涉仪的精密工件台是电子束曝光机的关键设备。为了改进工件台控制器的运算速度,设计了一种基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器。本控制器由上位机接口、激光干涉仪测量系统接口、电机控制接口、手动面板接口和主处理器组成,...
关键词：现场可编程门阵列 电子束曝光 工件台控制器 
电子束曝光系统中精密工件台的测量系统被引量：2
《微纳电子技术》2009年第4期244-249,共6页严伟 胡松 杨勇 周绍林 蒋文波 李艳丽 乔俊仙 
介绍了电子束曝光技术的原理。根据精密工件台对测量系统的需要,设计了三轴工件台测量系统布局方式,并简单介绍了激光干涉测量系统所需元器件数量的计算方法。重点讨论了双频激光干涉测量原理、双频光束与运动方向敏感性的关系以及读出...
关键词：电子束曝光机 激光干涉仪 精密工件台 光刻 方向敏感性 
高速偏放系统噪声抑制技术的研究
《微细加工技术》2008年第2期5-7,共3页姚作宾 张玉林 魏守水 
为使亚微米电子束曝光机的高速偏放系统寻址率达到6 MHz,噪声小于200μV的技术指标,从偏转放大器的设计、信号传输、D/A转换和系统的屏蔽、隔离等几方面考虑,对噪声的产生进行分析研究,采取相应的处理措施、实现机制及实验结果,提出了...
关键词：电子束曝光机 偏放系统 噪声抑制 光纤传输 
一般性问题
《中国无线电电子学文摘》2007年第1期1-1,共1页
TN03,TB9 2007010001 EMC测试及其测量不确定度/徐小文,苏东林,戴飞,程璐(北京航空航天大学)//电子测量技术.―2006,29(1).―52～53.文中评估频率范围在150kHz～30MHz内的电源线传导发射的测量不确定度,以及系统误差。这将有助于电磁兼...
关键词：电子束曝光机 摄影设备 测量不确定度 传导发射 评估频率 
基于扫描电镜的电子束曝光机对准系统的研制
《微细加工技术》2006年第3期10-13,共4页张今朝 方光荣 
介绍了基于扫描电镜的电子束曝光机对准系统的原理,详细分析了此系统的硬件设计、软件设计以及扫描场的校正过程。利用硬件获取扫描图像,并进行实时标记校正,利用软件进行标记位置识别和校正参数计算,满足了曝光机对准系统在性能和精度...
关键词：电子束曝光 扫描电镜 对准 
全选清除导出
共16页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部