殷伯华

作品数：35被引量：68H指数：5
导出分析报告
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文主题：电子束原子力显微镜电子枪扫描电子显微镜AFM更多>>
发文领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术电气工程更多>>
发文期刊：《微细加工技术》《振动．测试与诊断》《仪表技术与传感器》《组合机床与自动化加工技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划北京市自然科学基金国家科技支撑计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
电子束品质评价方法综述
《电子显微学报》2024年第6期733-743,共11页史丽娜 王鹏飞 刘俊标 邓晨晖 殷伯华 韩立 
中国科学院科研仪器设备研制项目(No.GJJSTD20200004);广东省重点领域研发计划项目(No.2020B0101320002);中国科学院电工研究所科研基金(No.E155440101)。
电子显微类仪器广泛应用于微纳观测与精密加工领域,属于高端科学仪器。如何有效评价电子束品质是仪器开发者与使用者所关心的问题。然而,电子显微类仪器种类众多,根据应用的不同,电子束品质评价方法也有很大差异。因此,建立规范化的电...
关键词：电子显微类仪器 电子束品质 评价参数 测试方法 
微型阵列束闸设计与实验
《光学精密工程》2024年第13期2061-2069,共9页张利新 孙博彤 刘星云 殷伯华 刘俊标 韩立 
国家自然科学青年基金资助项目(No.62101528);中国科学院科研仪器设备研制项目(No.GJJ⁃STD20200003)。
微型阵列束闸是多束电子束曝光系统的关键部件,用于控制多束电子束的开/关,实现复杂图形的快速曝光。对3×3微型阵列束闸进行了设计与制作,并进行了多束电子束偏转实验研究。对阵列束闸结构进行了优化设计,并基于MEMS加工工艺成功制备...
关键词：电子束曝光 阵列束闸 多束电子束 串扰 偏转速度 
具有可变真空结构的物镜优化设计及性能分析
《光学学报》2024年第5期193-202,共10页史丽娜 王鹏飞 刘俊标 王岩 殷伯华 韩立 
微纳加工技术共性关键技术研发团队项目(GJJSTD20200003);广东省重点领域研发计划(2020B0101320002)。
环境扫描电子显微镜(ESEM)能够在低真空环境模式下对含水、含油以及生物等样品进行高分辨率观测。由于电子束通道与样品室间存在着极大的真空压差,采用真空差分结构会导致出现物镜的工作距离增加、偏转范围缩小、电子束和气体碰撞概率...
关键词：电子光学 物镜 可变真空结构 压差光阑 节流管 
微型阵列束闸电子束偏转特性研究被引量：2
《电子显微学报》2023年第2期171-179,共9页张雨露 张利新 刘俊标 王文博 殷伯华 韩立 
国家自然科学青年基金资助项目(No.62101528);中国科学院科研仪器设备研制项目(No.GJJSTD20200003);中国科学院特别研究助理资助项目。
为了降低微型阵列式束闸边缘场和邻近电场对多束电子束的偏转影响和串扰,本文以3×3阵列束闸为研究对象,利用COMSOL Multiphysics中的静电和带电粒子追踪模块,研究束闸长宽比、隔离接地极和束闸上方增加接地层对电子束偏转的影响。研究...
关键词：多束电子光学 微型阵列束闸 边缘场 串扰 带电粒子追踪 
电子束增材制造聚焦消像散控制技术研究被引量：4
《热加工工艺》2022年第21期117-121,126,共6页孙博彤 殷伯华 王鹏飞 刘俊标 韩立 
国家重点研发计划项目(2018YFB1105202)。
为解决电子束增材制造设备加工范围受限、大尺寸工件边缘加工精度下降等问题,对大偏角下电子束的散焦和像散进行研究。采用像差理论对电子束偏转过程中出现的束径增大、形状畸变现象进行分析。本研究搭建控制系统,动态调整聚焦线圈和消...
关键词：电子束选区熔化 增材制造 动态聚焦 消像散 
微区X射线能谱信号实时梯形成形算法研究
《电子显微学报》2022年第3期234-240,共7页李正杰 殷伯华 初明璋 程隆军 韩立 刘俊标 
中国科学院科研仪器设备研制项目(No.YZLY201901);中国科学院电工研究所科研基金(No.E155440101);电子束X射线共性关键技术研发团队项目(No.GJJSTD20200004)。
在能量色散谱仪(energy dispersive spectroscopy,EDS)中,特征X射线信号幅值提取是其进行元素分析的关键,数字成形算法则是现代X射线信号处理的核心所在。本文对硅漂移(silicon drift detector,SDD)探测器前置放大器输出信号进行了转化...
关键词：X射线能谱 梯形成形 FPGA 
X射线探测器双指数信号时间常数被引量：4
《核技术》2021年第9期51-59,共9页程隆军 殷伯华 孙博彤 许广鹿 王文博 韩立 
中国科学院科研仪器设备研制项目(No.YZLY201901)资助。
在X射线能谱测量系统中,时间常数是影响梯形成形效果的重要因素,准确测量双指数脉冲信号的时间常数有利于获得较好梯形成形效果。本文研究了一种基于最小二乘法的快速拟合双指数脉冲算法,用于测量梯形脉冲成形中的时间常数,不仅从理论...
关键词：微区能谱 梯形成形 双指数拟合 最小二乘法 
基于纳米晶材料的高频大范围偏转器研究被引量：4
《电子显微学报》2021年第4期452-459,共8页孟彦亭 王鹏飞 刘俊标 殷伯华 李文萍 韩立 
国家重点研发计划(No.2018YFB1105202);先进封装X射线3D检测技术创新交叉团队项目(No.JCTD-2019-02);高精度大扫描场电子束复合聚焦偏转系统研制项目(No.2020B0101320002).
在电子束焊接、电子束增材制造等多种应用技术中,偏转器的性能直接影响着电子束的加工效率和质量,其中包括偏转器的偏转范围和高频性能。偏转场分布的均匀性、场强大小和响应速度是影响偏转器性能的关键,而磁偏转器的结构和材料是决定...
关键词：电子束增材制造 磁偏转器 纳米晶 磁场分布 电感值 
电子束选区熔化加工过程实时检测方法研究
《热加工工艺》2021年第14期54-58,共5页王家明 殷伯华 孙博彤 王鹏飞 刘俊标 韩立 
国家重点研发计划项目(2018YFB1105203)。
针对电子束选区熔化加工过程和加工工艺缺少有效的实时在线检测和评估方法的问题,提出了一种通过逐层扫描,实时进行二次电子成像,进而根据所得点阵图像解决上述问题的方法。分析了试验方案及基本流程,包括扫描成像控制原理、图像采集以...
关键词：电子束选区熔化 实时监测 二次电子 
基于PLC的微焦点X射线源控制系统设计被引量：1
《机床与液压》2020年第20期93-96,共4页邓晨晖 牛耕 刘俊标 鞠胜 殷伯华 林树峰 韩立 
国家重大科学仪器设备开发专项项目(2017YFF0107202);中国科学院关键技术研发团队项目(GJJSTD20170005)。
X射线显微分析技术利用X射线的穿透能力,结合精密定位和数据反演技术,可以在微米甚至亚微米尺度上展现被测样品的内部结构、密度和缺陷等特征信息。该技术已然成为一种重要的物理分析方式,且被广泛应用于生命科学、材料学和先进制造等...
关键词：PLC控制系统设计 微焦点X射线源 微焦点成像 
全选清除导出
共4页<1234>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部