电子束曝光

作品数：292被引量：725H指数：8
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电子束曝光机图形发生器系统研究
《装备制造技术》2024年第9期175-178,共4页何远湘 苏鑫 梁文彬 黄云 
电子束曝光机是半导体晶片的制造过程中制造掩膜片或自写硅片的非常重要的设备。电子束曝光机可以在非常小的区域内进行高精度的曝光,从而实现对芯片的精细图案及图形制作。它由电子源、电子光学系统、扫描系统、真空系统、恒温控制系...
关键词：电子束曝光机 图形发生器 束闸、标记、DAC转接 
电子束曝光机子系统光柱控制器设计
《电子工业专用设备》2024年第4期30-35,共6页何远湘 龙会跃 梁文彬 苏鑫 
为了提高电子束曝光机光柱控制器稳定性和控制精度,通过多年研究提出了一套功能较为完备的新型光柱控制的硬件设计方案,通过对电子束聚焦、对中、偏转、扫描曝光等参数精准控制,将图形发生器产生各项数字信号变换成对应的模拟量,稳定地...
关键词：电子束曝光机 光柱 聚焦 束闸 偏转 数模转换(DAC)转接 
微型阵列束闸设计与实验
《光学精密工程》2024年第13期2061-2069,共9页张利新 孙博彤 刘星云 殷伯华 刘俊标 韩立 
国家自然科学青年基金资助项目(No.62101528);中国科学院科研仪器设备研制项目(No.GJJ⁃STD20200003)。
微型阵列束闸是多束电子束曝光系统的关键部件,用于控制多束电子束的开/关,实现复杂图形的快速曝光。对3×3微型阵列束闸进行了设计与制作,并进行了多束电子束偏转实验研究。对阵列束闸结构进行了优化设计,并基于MEMS加工工艺成功制备...
关键词：电子束曝光 阵列束闸 多束电子束 串扰 偏转速度 
宽束离子束刻蚀快速加工金属纳米间隙结构被引量：6
《光学精密工程》2023年第1期109-118,共10页曾沛 舒志文 陈艺勤 段辉高 郑梦洁 
国家自然科学基金资助项目(No.12104182);季华实验室青年创新基金资助项目(No.X201321XQ200)。
提出并演示了利用宽束离子束刻蚀方法一次性对多个杠铃形金属纳米结构进行“横向抽减”,形成极小纳米间隙,从而实现多个金属纳米间隙结构的快速加工。利用电子束曝光定义图形化抗蚀剂结构,通过传统的金属沉积和湿法剥离将抗蚀剂图案转...
关键词：离子束刻蚀 电子束曝光 金属纳米间隙 亚10 nm 拉曼检测 
混合抗蚀剂法制备纳米球型SERS基底被引量：5
《光学学报》2022年第15期186-195,共10页周一轩 杨婧 徐陶然 乔治 牟达 陈佩佩 褚卫国 
北京市自然科学基金面上项目(4202083);国家重点研发计划项目(2017YFA0207104);北京市科技新星计划项目(Z191100001119138)。
报道了一种利用混合抗蚀剂的一步电子束曝光制备表面增强拉曼散射(SERS)基底的新方法。基于氢倍半硅氧烷(HSQ)和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)电子束抗蚀剂的混合产生相分离形成纳米球体的现象,并利用合适剂量(2000μC/cm^(2))电子束曝光、固...
关键词：表面光学 表面增强拉曼散射(SERS) 电子束曝光 痕量检测 三聚氰胺 
国产光刻机技术发展史话
《环球财经》2022年第8期34-37,共4页王维 
光刻机,也称为曝光机,是一种特殊类型的精密照相机。光刻技术经过60年奇迹般地发展,由原来最简单的真空吸附接触式曝光,发展到投影曝光、分步重复曝光、扫描式曝光、浸没式曝光、反射式曝光甚至无掩模直写式曝光;曝光光源也由绿光、紫...
关键词：电子束曝光 光刻机 光刻技术 扫描式 曝光机 无掩模 真空吸附 浸没式 
离心法曲面涂胶的胶层厚度研究被引量：2
《光学精密工程》2022年第1期71-77,共7页解孟涛 刘俊标 王鹏飞 张利新 韩立 
中国科学院科研仪器设备研制项目(No.GJJSTD20200003);广东省重点领域研发计划资助项目(No.2020B0101320002)。
曝光工艺中经离心涂敷后抗蚀剂胶层的均匀性对曝光线宽有很大的影响。为了得到高速旋转下抗蚀剂胶体在凹面衬底上所形成膜层厚度的均匀性,在凹面衬底上建立了非牛顿流体微元经离心旋转的流体动力学模型。根据对应的边界条件、非牛顿流...
关键词：电子束曝光 离心涂胶 非牛顿流体 胶层厚度 曲面 
微细阵列结构电子束加工试验研究
《电加工与模具》2021年第3期61-65,共5页颜泽林 马志兵 汪炜 
基于电子束曝光基本理论和工艺原理,以涂覆有PMMA抗蚀剂的石英玻璃为研究对象,采用电子束曝光制备微细阵列结构,研究不同工艺参数对曝光微细阵列孔和阵列槽结构的影响。结果表明,在PMMA薄膜厚度250 nm、曝光剂量400 pAs/cm^(2)、显影时...
关键词：电子束曝光 抗蚀剂 工艺参数 阵列微孔 阵列微槽 
氮化铝微环谐振腔临界耦合条件及制备工艺研究被引量：3
《光子学报》2021年第5期86-94,共9页韩毅帅 孙天玉 贾慧民 唐吉龙 房丹 王登魁 王晓华 张宝顺 魏志鹏 
国家自然科学基金面上项目(No.61674021)。
针对氮化铝微环谐振腔实现临界耦合条件困难的问题,设计并制备了氮化铝弯曲耦合微环谐振腔。分析了微环谐振腔耦合系数公式,分别阐述了多种提高耦合强度方案的优势和劣势,最终选用弯曲耦合结构来增强耦合强度,得到了在宽耦合间隙下,实...
关键词：氮化铝 微环谐振腔 临界耦合 弯曲耦合 电子束曝光 
面向窄线宽超导纳米线单光子探测器的电子束曝光技术
《低温物理学报》2020年第4期199-205,共7页汤演 刘晓宇 潘一铭 周慧 尤立星 
国家重点基础研究发展计划重点专项(批准号:2017YFA0304000);国家自然科学基金(批准号:61671438)资助的课题。
超导纳米线单光子探测器是新型超导电子器件,因其具有高探测效率、低暗计数及低时间抖动等优势,在量子信息、激光雷达等方面已得到广泛的应用.目前主流超导纳米线单光子探测器主要工作在1.5μm以下的可见光和近红外波段.中红外波长的红...
关键词：超导纳米线单光子 电子束曝光 电子束抗蚀剂 红外波段单光子探测 MaN-2401 
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