李长青

作品数:2被引量:4H指数:2
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发文主题:高电压电子束曝光机电压控制束流测量更多>>
发文领域:电气工程电子电信更多>>
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一种自动跟踪工频陷波器的研究与设计被引量:2
《电子设计工程》2012年第15期184-187,共4页陈振生 王月 张玉林 李长青 
介绍了一种新型线性自动跟踪工频陷波器的电路结构。该陷波器应用于电子束曝光机束流测量电路中,用来抑制工频干扰对测量精度的影响。基于对自动跟踪陷波器的基本工作原理分析,陷波器采用了频率/电压转换器与压控带阻滤波器相结合的设...
关键词:电子束流测量 自动跟踪 电压控制 干扰抑制 工频陷波器 
精密高压稳压电源的研究与设计被引量:2
《电子设计工程》2011年第14期123-126,共4页陈振生 胡咏梅 李长青 
介绍了用于新型电子束曝光机的30 kV精密高压稳压电源。该电源系统采用了直接调整和间接调整相结合的双闭环调整方案,采用了集中补偿和分散补偿相结合的系统补偿方式,成功地解决了既有高静态精度又有高动态稳定性的问题。为了保证高精...
关键词:电子束曝光机 精密 高电压 调整 补偿 
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