殷淑霞

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一种复合调整型精密高压电源
《现代电子技术》2011年第24期14-17,共4页陈振生 刘伯强 殷淑霞 祁爽 
为保证电子束曝光机用高压电源既有高静态精度,又有高动态稳定性,采用直接调整和间接调整相结合的复合调整方案,同时采用集中补偿和分散补偿相结合的复合补偿方案。为实现高压稳压电源系统的高精密、高稳定和低纹波电压等技术指标,采取...
关键词：电子束曝光机 高压电源 制版精度 复合补偿 
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