薛虹

作品数：26被引量：20H指数：3
导出分析报告
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文主题：电子束曝光机电子束曝光图形发生器电子束扫描电子显微镜更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
发文期刊：《组合机床与自动化加工技术》《微细加工技术》《半导体技术》《航空精密制造技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
工业原子力显微镜快速进针系统的设计
《现代科学仪器》2016年第3期29-33,共5页王谦 许广路 薛虹 殷伯华 初明璋 方光荣 
国家面上基金支持项目：51375470;863计划项目：2012AA041204
摘要为了满足工业原子力显微镜高效检测的要求，提出了一种粗细相结合的自动进针方法。设计了快速的粗进针和慢速的精细进针二级进针控制系统硬件结构。针对工业半导体样品的特点，通过预标定方法保证粗进针动作快速到位。在精细进针阶...
关键词：原子力显微镜 进针控制 激光检测 PC-104控制器 
X射线微焦源束流控制电源的设计
《现代科学仪器》2015年第4期31-36,共6页栾震 薛虹 方光荣 刘俊标 靳鹏云 
设计了一种应用于X射线微焦源束流控制的独立可调直流电源.前置电源采用串联型稳压电路.主电路由芯片TL494提供推挽PWM脉冲驱动IGBT来实现半桥逆变.逆变输出电压通过特制高频逆变变压器升压至大于3000V交流,通过整流滤波最终实现3000V...
关键词：X射线微焦源 电子束流 稳压电源 高频逆变 变压器 
大范围快速AFM的高速高精度控制系统
《仪表技术与传感器》2015年第1期53-55,共3页邓卫梅 薛虹 陈代谢 殷伯华 韩立 
国家863计划资助项目(2012AA041204);国家科技支撑计划资助项目(201BAK15B00)
针对原子力显微镜难以同时实现快速、高精度、大范围扫描成像的不足,逐渐出现了带两级扫描器的原子力显微镜。基于自行研制的大范围快速原子力显微镜(含两级扫描器),为其设计了一种以DSP_FPGA为核心的高速高精度控制系统。包括DSP和FPG...
关键词：原子力显微镜 DSP FPGA FIFO PID 噪声 
基于DSP-FPGA高速控制系统的应用研究
《现代科学仪器》2014年第1期30-34,共5页邓卫梅 陈代谢 殷伯华 薛虹 韩立 
基金资助：国家863计划,工业型扫描探针显微测试系统及关键技术（2012AA041204）;国家科技支撑计划,微纳技术计量标准和标准物质研究,2011BAK15800
为了满足应用对控制系统高速高精度的要求，本文将原子力显微镜作为控制对象，主要研究基于DSP—FPGA控制系统设计中的关键技术问题。包括各模块的功能划分、模块间通讯模式设计并以单行扫描为例进行编程说明。随后将PID算法嵌入FPGA，...
关键词：SEED--HPS6455 DSP-FPGA 大范围快速AFM 
电子束退火制备二硼化镁超导薄膜的可行性研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2012年第8期758-762,共5页孔祥东 戴倩 韩立 冯庆荣 初明璋 薛虹 李建国 
国家自然科学基金项目(51177160;51002150;51025726);科技部973计划项目(2006CD601004;2011CB605904);中国博士后科学基金项目(20090460514)
提出了电子束退火制备MgB2超导薄膜新工艺。在对电子束退火制备MgB2超导薄膜可行性进行理论研究的基础上,使用EBW-6型电子束热处理设备,在真空度5.0×10-3Pa、加速电压40 kV、束流2mA、束斑14.2mm、退火时间1.5 s的条件下对[B(10 nm)/Mg...
关键词：MGB2 超导薄膜 SIC衬底 电子束退火 
基于电子束曝光的微区加热技术
《纳米技术与精密工程》2011年第5期440-445,共6页孔祥东 韩立 初明璋 薛虹 
国家自然科学基金资助项目(10572078);中国博士后科学基金面上资助项目(20090460514)
提出了基于电子束曝光的微区加热技术.在研究样品吸收能量密度的基础上,在FEI820 Dual Beam FIB/SEM系统上对30 keV电子束曝光Pb、Bi、Sn、Al金属薄膜以及15 keV电子束曝光S1805正性抗蚀剂微结构时的微区加热效应进行了实验研究.结果表...
关键词：电子束 微区加热 吸收能量密度 剂量 表面改性 
基于单频激光干涉仪的精密工件台定位系统设计被引量：1
《现代科学仪器》2011年第2期49-52,共4页王蕴 薛虹 韩立 
激光干涉仪是以稳频氦氖激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的工具。近年来,激光干涉仪一直作为精密测量工具为精密加工机和工件台进行定位校准工作。本文介绍了一种基于单频激光干涉仪的精密工件台测量定位系统。本定位...
关键词：单频激光干涉仪 精密工件台 精密定位 
小型微纳米图形电子束曝光制作系统(英文)被引量：2
《纳米技术与精密工程》2010年第4期290-294,共5页殷伯华 方光荣 刘俊标 靳鹏云 薛虹 吕士龙 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2006CB932501)
为了满足科学实验过程中对制作半导体器件和微纳米结构的需要,同时避免受到昂贵的工业级电子束曝光(electron beam lithography,EBL)机的条件制约,构建了一种基于普通扫描电子显微镜(scanning electron microsco-py,SEM)的桌面级小型电...
关键词：扫描电子显微镜(SEM) 电子束曝光(EBL) 图形发生器 纳米结构 
基于超声电机的微机械臂系统
《现代科学仪器》2009年第4期29-32,共4页吴震 薛虹 段守胜 李勇滔 
自然科学基金(50607018)
针对传统电机驱动机械臂体积大、重量重、定位精度低的缺点,研制了基于超声电机的以DSP控制的微型机械臂系统。该系统主要由机械结构和控制系统组成。机械结构由支架、机械臂和系统升降台等组成,控制系统由上位计算机、超声电机及控制...
关键词：微机械臂 超声电机 DSP 
基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器设计被引量：2
《电子工业专用设备》2009年第4期19-24,共6页李勇滔 韩立 薛虹 殷伯华 刘俊标 
基于激光干涉仪的精密工件台是电子束曝光机的关键设备。为了改进工件台控制器的运算速度,设计了一种基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器。本控制器由上位机接口、激光干涉仪测量系统接口、电机控制接口、手动面板接口和主处理器组成,...
关键词：现场可编程门阵列 电子束曝光 工件台控制器 
全选清除导出
共3页<123>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部