王蕴

作品数：1被引量：1H指数：1
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基于单频激光干涉仪的精密工件台定位系统设计被引量：1
《现代科学仪器》2011年第2期49-52,共4页王蕴 薛虹 韩立 
激光干涉仪是以稳频氦氖激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的工具。近年来,激光干涉仪一直作为精密测量工具为精密加工机和工件台进行定位校准工作。本文介绍了一种基于单频激光干涉仪的精密工件台测量定位系统。本定位...
关键词：单频激光干涉仪 精密工件台 精密定位 
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