王谦

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工业原子力显微镜快速进针系统的设计
《现代科学仪器》2016年第3期29-33,共5页王谦 许广路 薛虹 殷伯华 初明璋 方光荣 
国家面上基金支持项目：51375470;863计划项目：2012AA041204
摘要为了满足工业原子力显微镜高效检测的要求，提出了一种粗细相结合的自动进针方法。设计了快速的粗进针和慢速的精细进针二级进针控制系统硬件结构。针对工业半导体样品的特点，通过预标定方法保证粗进针动作快速到位。在精细进针阶...
关键词：原子力显微镜 进针控制 激光检测 PC-104控制器 
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