靳鹏云

作品数：13被引量：13H指数：2
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供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文主题：电子束曝光电子束图形发生器SEM扫描电子显微镜更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学理学更多>>
发文期刊：《电子工业专用设备》《微细加工技术》《电子技术应用》《微电子学与计算机》更多>>
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基于杂散电感分析的MOSFET模块布局结构设计的研究
《现代科学仪器》2016年第6期68-72,共5页代茜 徐菊 郑利兵 靳鹏云 
金属氧化物半导体场效应晶体管（Metal—Oxide—Semiconductor Field-Effect Transistor,MOSFET）模块内部芯片布局及封装结构的不同引起的寄生电感分布的差异对模块的可靠性有直接的影响。为了减小模块内部的杂散电感，提高模块工作的...
关键词：MOSFET功率模块 芯片布局 双脉冲测试 开关损耗 杂散参数 有限元 
X射线微焦源束流控制电源的设计
《现代科学仪器》2015年第4期31-36,共6页栾震 薛虹 方光荣 刘俊标 靳鹏云 
设计了一种应用于X射线微焦源束流控制的独立可调直流电源.前置电源采用串联型稳压电路.主电路由芯片TL494提供推挽PWM脉冲驱动IGBT来实现半桥逆变.逆变输出电压通过特制高频逆变变压器升压至大于3000V交流,通过整流滤波最终实现3000V...
关键词：X射线微焦源 电子束流 稳压电源 高频逆变 变压器 
IGBT模块空洞率与其温度分布特性关系研究
《现代科学仪器》2014年第2期29-32,共4页宋平 靳鹏云 郑利兵 花俊 韩立 王春雷 方化潮 
国家重大专项02专项“高压大功率器件封装与测试平台的设计”（项目号：2011ZX02603）
IGBT模块焊接层空洞会使得模块局部热阻增加、散热能力降低进而导致表面温度场畸变。本文基于红外热像仪和DSP控制单元搭建温度分布检测系统,实现IGBT模块温度场信息的采集、处理和分析。根据实验需要采用自制IGBT模块研究空洞对温度场...
关键词：IGBT模块 温度分布 检测系统 评估 
超声波功率驱动与测量装置设计被引量：1
《电子技术应用》2011年第3期78-81,85,共5页花俊 靳鹏云 陈劲操 
在超声波法测量的理论基础上开发设计了一次风煤粉浓度测量系统。测量系统的硬件部分主要包括超声波传感器驱动电路、超声波接收电路和控制电路部分。驱动电路的主要拓扑结构为单相全桥逆变电路,接收电路主要由两级放大电路和滤波电路...
关键词：超声波 单相全桥 功率变换 DSP 带通滤波 
小型微纳米图形电子束曝光制作系统(英文)被引量：2
《纳米技术与精密工程》2010年第4期290-294,共5页殷伯华 方光荣 刘俊标 靳鹏云 薛虹 吕士龙 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2006CB932501)
为了满足科学实验过程中对制作半导体器件和微纳米结构的需要,同时避免受到昂贵的工业级电子束曝光(electron beam lithography,EBL)机的条件制约,构建了一种基于普通扫描电子显微镜(scanning electron microsco-py,SEM)的桌面级小型电...
关键词：扫描电子显微镜(SEM) 电子束曝光(EBL) 图形发生器 纳米结构 
基于微悬臂梁的传感技术研究被引量：3
《现代科学仪器》2010年第2期180-183,共4页张奇 任权 靳鹏云 韩立 
本文对基于微悬臂梁的传感技术从四方面展开讨论,分别介绍了微悬臂梁的制造工艺,修饰技术,激励、检测和控制技术,以及与其它电路的工艺集成技术。微悬臂梁在液体中,工作在动态模式时,品质因数的提高问题一直是国内外研究的焦点。本文的...
关键词：微悬臂梁 传感技术 品质因数 
基于SEM纳米级电子束曝光机的快速束闸设计被引量：2
《电子工业专用设备》2008年第10期10-13,共4页刘俊标 方光荣 靳鹏云 薛虹 张福安 顾文琪 
基于扫描电镜(SEM)的纳米级电子束曝光系统能够以较低成本满足科研单位对纳米加工设备的需求。在电子束曝光系统中,需要快速束闸控制电子束通断以实现纳米图像的多场曝光。从安装位置、机械结构和驱动器等方面讨论快速束闸的设计。
关键词：电子束曝光 束闸 扫描电子显微镜 图形发生器 
基于SOPC的任意波形发生器的设计被引量：5
《计算机测量与控制》2008年第12期1989-1990,1998,共3页侯锡立 靳鹏云 
提出了一种基于Altera公司的SOPC(可编程片上系统)& NiosⅡ嵌入式软核处理器技术的一种任意波形发生器的设计;以此设计的波形发生器具有波形记录与回放功能,能实现两路可调相位差的任意波形输出;该系统主要包括NiosⅡ主控模块、存储器...
关键词：SOPC NiosⅡ 任意波形发生器 
PI参数自整定扫描探针显微镜控制器的设计
《微细加工技术》2008年第2期1-4,共4页侯锡立 靳鹏云 
为了解决传统扫描探针显微镜(SPM)控制器中参数难以设定的难题,提出了一种SPM的PI参数自整定控制器的设计,并给出了控制器的硬件结构和软件设计。该控制器基于DSP,通过引入扫描式参数优化算法来实现。结果表明,该控制器能自动完成PI参...
关键词：PI参数自整定控制器 扫描探针显微镜 DSP 
高能电子束曝光技术研究
《微细加工技术》2004年第4期7-10,共4页田丰 靳鹏云 彭开武 韩立 顾文琪 
介绍了将商用透射电镜JEM-2000EX改造为高能电子束曝光系统的研制工作,在现阶段研制工作的基础上进行了曝光实验。结果表明,利用此高能电子束曝光系统可以制备出纳米线条,并且能够制备出具有高深宽比的微细结构,从而为微小器件的加工提...
关键词：电子束曝光 高能 透射电镜 改造 纳米加工 
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