基于微悬臂梁的传感技术研究  

Research on Microcantilever-based Sensing Technology

作　　者：张奇[1,2] 任权[1] 靳鹏云[1] 韩立[1] 

机构地区：[1]中国科学院电工研究所,北京100190 [2]中国科学院研究生院,北京100049

出　　处：《现代科学仪器》2010年第2期180-183,共4页Modern Scientific Instruments

摘　　要：本文对基于微悬臂梁的传感技术从四方面展开讨论,分别介绍了微悬臂梁的制造工艺,修饰技术,激励、检测和控制技术,以及与其它电路的工艺集成技术。微悬臂梁在液体中,工作在动态模式时,品质因数的提高问题一直是国内外研究的焦点。本文的重点便是介绍国际上最新出现的两种品质因子控制技术,一种是对微悬臂梁的材料进行了改进,使其在水溶液的品质因数达到40,另一种是把液体环境转移到悬臂梁内部,使其在水溶液中的品质因数达到700。The sensing technology based on microcantilever is discussed from fabricating process,modifying flow, methods of exciting,detecting and controlling,and its integration with other circuits.When it works in liquids in dynamic mode,the enhancement of the quality factor has always been a research hotspot.Two innovative ideas concerning this problem are introduced.One changes the material of cantilever,thus a factor of 40 is acquired;while the other transfers the liquid environment to the inside of the cantilever,a factor of 700 is acquired.

关 键 词：微悬臂梁 传感技术 品质因数 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]