任权

作品数：3被引量：6H指数：2
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供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文主题：传感技术传感表面电荷微悬臂梁品质因数更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
发文期刊：《现代科学仪器》《微细加工技术》《微纳电子技术》更多>>
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基于微悬臂梁的传感技术研究被引量：3
《现代科学仪器》2010年第2期180-183,共4页张奇 任权 靳鹏云 韩立 
本文对基于微悬臂梁的传感技术从四方面展开讨论,分别介绍了微悬臂梁的制造工艺,修饰技术,激励、检测和控制技术,以及与其它电路的工艺集成技术。微悬臂梁在液体中,工作在动态模式时,品质因数的提高问题一直是国内外研究的焦点。本文的...
关键词：微悬臂梁 传感技术 品质因数 
聚酰亚胺薄膜表面微纳米尺度下电荷特性的研究被引量：3
《微细加工技术》2007年第3期30-33,共4页赵慧斌 任权 韩立 
利用静电力显微镜(electrostatic force microscope,EFM)在微纳米尺度下对聚酰亚胺薄膜表面的电荷起因及特性进行研究。采用Dimension 3100型扫描探针显微镜的导电探针摩擦聚酰亚胺薄膜表面,在薄膜微纳米区域内产生电荷分布。通过静电...
关键词：聚酰亚胺 表面电荷 扫描探针显微镜 静电力显微镜 
PMMA薄膜nm尺度下表面电荷的制备和观察
《微纳电子技术》2007年第6期324-327,共4页赵慧斌 任权 韩立 
利用扫描探针显微镜(SPM)的导电探针在PMMA薄膜表面μm/nm尺度下通过摩擦方式产生了电荷,并用静电力显微镜(EFM)对生成的电荷进行了观察。讨论了生成电荷的极性、数量、区域大小与摩擦过程中探针加工速度、所加电压大小及正负之间的关系...
关键词：聚甲基丙烯酸甲酯 表面电荷 扫描探针显微镜 静电力显微镜 
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