田丰

作品数：5被引量：3H指数：1
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供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文主题：电子束曝光微电子产业高能环状纳米级更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《压电与声光》《电子显微学报》《微细加工技术》《微纳电子技术》更多>>
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电子束直写技术制作GHz频带声表面波器件被引量：1
《压电与声光》2005年第6期606-609,共4页杨忠山 范子坤 田丰 韩立 
电子束具有刻写微细图形尺寸的能力,容易实现亚微米宽格栅的声表面波器件制造,因此可达到器件的高频化和在设计上更具灵活性。该文介绍了器件图形的数据处理策略,基片的制备和工艺过程。描述了在电子束曝光过程中采取的一些独特方法,生...
关键词：半导体工艺 声表波器件 电子束刻蚀技术 
纳米级高压扫描电子束曝光技术
《微纳电子技术》2005年第5期244-248,共5页彭开武 田丰 
通过简单添加一些附件,将一台带有扫描附件的商用透射电子显微镜改造为一台高压扫描电子束曝光机,以研究高压下高分辨率、高深宽比抗蚀剂图形曝光及邻近效应的影响。重点介绍了如何获得一个高分辨率的电子光学系统,并利用此系统初步进...
关键词：高压扫描电子束曝光机 纳米图形 透射电子显微镜 
高能电子束曝光技术研究
《微细加工技术》2004年第4期7-10,共4页田丰 靳鹏云 彭开武 韩立 顾文琪 
介绍了将商用透射电镜JEM-2000EX改造为高能电子束曝光系统的研制工作,在现阶段研制工作的基础上进行了曝光实验。结果表明,利用此高能电子束曝光系统可以制备出纳米线条,并且能够制备出具有高深宽比的微细结构,从而为微小器件的加工提...
关键词：电子束曝光 高能 透射电镜 改造 纳米加工 
化学放大胶在电子束光刻技术中的应用被引量：2
《微纳电子技术》2003年第12期43-46,共4页田丰 韩立 杨忠山 
化学放大胶(ChemicallyAmplifiedResists,简称CARs)是下一代光刻技术中极具发展潜力的一种光学记录介质。介绍了化学放大胶在电子束光刻技术中图形制作工艺的关键步骤以及目前常用的几种化学放大胶,分析了将化学放大胶用于电子束曝光工...
关键词：化学放大胶 电子束光刻技术 抗蚀剂 CARS 光学记录介质 电子束曝光 微电子产业 
高能电子束纳米曝光系统的研制
《电子显微学报》2003年第6期641-642,共2页田丰 韩立 顾文琪 
关键词：高能电子束纳米曝光系统 微电子产业 半导体器件 光学光刻技术 电子束曝光技术 高分辨 
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