投影光刻

作品数：185被引量：415H指数：11
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超大数值孔径深紫外投影光刻空间像的偏振响应分析
《成都工业学院学报》2025年第2期14-19,共6页彭仁举 
成都工业学院科研项目(2024RC017)。
65 nm以下工艺节点的投影物镜具有超大数值孔径,且处于深紫外工作波段,导致不同偏振态所对应的投影光刻空间像之间存在显著的差异。将s和p偏振所对应空间像之间的差异定义为偏振响应,以十字线和竖线条阵列为研究对象,利用矢量衍射投影...
关键词：偏振响应 超大数值孔径 深紫外 投影光刻 
基于DLP投影光刻方法的PDMS柔性磁轴编码驱动器
《传感器与微系统》2024年第8期165-168,共4页李鹏举 张聪 李瑞 
传统的聚二甲基硅氧烷(PDMS)磁轴编码的方法依赖于固定模具单向磁化、喷墨3D打印和重编码等方法,存在编码自由度不足、编码稳定性差等问题。本文报告了一种基于数字光处理(DLP)投影光刻的紫外(UV)光固化方法,利用光敏PDMS将磁性颗粒的...
关键词：数字光处理投影光刻 光敏聚二甲基硅氧烷 磁响应驱动器 磁轴编码 柔性变形装置 软体机器人 
金属微纳结构的飞秒激光投影光刻(特邀)
《中国激光》2024年第12期389-397,共9页王鹤鸣 辛晨 张莉 薛宇航 吴东 胡衍雷 
国家自然科学基金(52122511,52375582);安徽省科技重大专项(202203a05020014)。
金属薄膜的精密图案化是构建多种电子微纳器件的关键,然而,直接高效地制造大面积微纳金属图案结构仍极具挑战性。利用数字微镜器件将飞秒激光的光束调制成任意的二维图案化光束,使用面型光场将金属溶液中的离子直接还原成纳米颗粒并且...
关键词：飞秒激光 投影光刻 增材制造 光化学沉积 微纳金属打印 
基于DMD的无掩模光刻图形精准性优化方法(特邀)
《中国激光》2024年第12期398-408,共11页刘华 黄龙 刘雨晴 
国家自然科学基金面上项目(62275044,61875036);济南市“新高校20条”引进创新团队项目(202228047)。
基于数字微镜器件(DMD)的无掩模光刻技术作为一种新兴技术在光刻领域备受关注,该技术利用DMD实现光刻掩模的数字化控制,为微纳米加工和快速原型制作提供了一种全新的解决方案。然而,在DMD无掩模光刻技术中还存在着一些问题,如投影畸变...
关键词：投影光刻 数字微镜器件 光刻质量 飞秒激光 
曲线型微纳拓扑结构的制备及细胞行为调控被引量：2
《中国激光》2023年第15期191-201,共11页郭敏 刘享洋 董贤子 刘洁 金峰 郑美玲 
国家自然科学基金(61975213,61475164);中国科学院国际伙伴计划(GJHZ2021130);中奥国际合作项目(GJHZ1720);国家重点研发计划(2016YFA0200501)。
生物材料的表面拓扑结构能够显著影响细胞的黏附、增殖、迁移和分化等行为.为有效模拟体内细胞微环境,利用飞秒激光无掩模光学投影光刻技术制备了一系列曲线型拓扑结构.结果表明:细胞在沟槽、折线和三种不同曲率的波浪形拓扑结构上严格...
关键词：医用光学 飞秒激光 无掩模光学投影光刻 曲线型拓扑结构 细胞迁移 细胞骨架 
基于光栅制造的光刻投影物镜设计
《工具技术》2023年第5期141-144,共4页任东旭 班楠楠 孔明旭 李彬 
国家自然科学基金(51905558,51975599)。
光栅尺作为位移传感器被广泛应用在精密测量体系中,随着测量趋于纳米级精度和大量程,对光栅尺的制造精度提出了更高的要求。刻线误差是影响光栅尺制造精度的重要因素,减小刻线误差能够有效提高光栅制造精度。设计了一种大孔径、低畸变...
关键词：刻线误差 投影光刻物镜 光学设计 光栅制造 
缩小步进投影光刻机在碲镉汞红外探测器芯片工艺中的应用
《红外》2023年第5期1-7,共7页赵成城 陈书真 雷峥 孟晓兰 
光刻是制备碲镉汞红外探测器芯片过程中非常关键的工艺。目前绝大部分碲镉汞芯片制备都是使用接触式光刻技术,但是在曝光面型起伏较大的芯片时工艺均匀性较差,并且掩膜在与芯片接触时容易损伤芯片。针对接触式光刻的这些缺点,利用尼康...
关键词：碲镉汞 红外探测器 缩小步进投影光刻 
激光超衍射光刻原理与技术被引量：3
《激光与光电子学进展》2022年第9期470-492,共23页梁紫鑫 赵圆圆 段宣明 
广州市重点领域研发计划项目(202007010002);国家重点研发计划(2016YFA0200500)。
现有主流光刻技术与设备变得越来越复杂的原因之一在于其仍然囿于线性光学光刻范畴,未能突破光学衍射极限,是衍射极限附近的光刻技术。采用紫外、可见或近红外等长波长光源进行纳米光刻,必须突破光学衍射极限,实现超衍射光刻,研究和发...
关键词：光刻 超衍射 激光直写 投影光刻 非线性光学 光刻分辨率 光刻效率 
高精细水凝胶微图案的快速制备及其对细胞行为的诱导被引量：2
《光电工程》2022年第2期62-72,共11页张维彩 郑美玲 董贤子 刘洁 金峰 
国家自然科学基金资助项目(61975213,61475164,51901234);中奥国际合作项目(GJHZ1720);中国科学院国际伙伴计划(GJHZ2021130)。
为探索不同尺寸的水凝胶微图案对细胞的诱导调控作用,本文采用飞秒激光无掩模投影光刻技术,将水凝胶前驱体溶液制备成所设计的图案,同时结合大面积拼接,获得了具有大面积、不同尺寸的多边形和多角星微结构。详细研究了微结构的最佳加工...
关键词：无掩模投影光刻 水凝胶 微图案 细胞行为 
NA1.35投影光刻光学系统偏振像差的优化
《应用光学》2019年第4期575-582,共8页李杰 林妩媚 廖志杰 
02重大科技专项(2009ZX02204)
为了实现NA1.35投影光刻光学系统高质量成像,在设计过程中除了控制波像差,还需进一步优化光学系统的偏振像差。利用Jones光瞳和物理光瞳表达了NA1.35投影光刻光学系统的偏振像差,并用二向衰减量与延迟量分析了光学系统偏振像差的大小;...
关键词：光学设计 偏振像差 薄膜光学 Jones光瞳 成像对比度 
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