投影光刻物镜

作品数：28被引量：128H指数：7
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相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院北京理工大学中国科学院大学更多>>
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基于光栅制造的光刻投影物镜设计
《工具技术》2023年第5期141-144,共4页任东旭 班楠楠 孔明旭 李彬 
国家自然科学基金(51905558,51975599)。
光栅尺作为位移传感器被广泛应用在精密测量体系中,随着测量趋于纳米级精度和大量程,对光栅尺的制造精度提出了更高的要求。刻线误差是影响光栅尺制造精度的重要因素,减小刻线误差能够有效提高光栅制造精度。设计了一种大孔径、低畸变...
关键词：刻线误差 投影光刻物镜 光学设计 光栅制造 
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展被引量：11
《中国科学：技术科学》2017年第6期565-581,共17页张德福 李显凌 芮大为 李朋志 东立剑 张建国 
国家自然科学基金(批准号:61504142);国家科技重大专项基金(批准号:2009ZX02205)资助项目
结合双/多曝光的193nm投影光刻是未来5~10年大规模集成电路工业化生产的主要方法.投影物镜作为光刻机的核心分系统,其光机系统关键技术的研究进展直接影响物镜整体性能的提升.本文分析了当前集成电路装备制造业对193nm投影物镜的需求,...
关键词：集成电路 光刻 投影物镜 波像差 调节机构 主动光学 
全频段亚纳米精度氟化钙材料加工被引量：2
《光学精密工程》2016年第11期2636-2643,共8页张春雷 徐乐 刘健 马占龙 王飞 谷永强 代雷 彭石军 
国家科技重大专项(No.2009ZX02205)
考虑用CaF_2材料制作投影光刻物镜可以明显提高其性能指标,本文研究了CaF_2材料加工工艺的全流程,以实现CaF_2材料的全频段高精度加工。首先,利用沥青抛光膜和金刚石微粉使CaF_2元件有较好的面形和表面质量。然后,优化转速、抛光盘移动...
关键词：氟化钙 投影光刻物镜 精密光学加工 亚纳米精度加工 离子束修形(IBF) 
用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计被引量：5
《激光与光电子学进展》2016年第9期64-71,共8页高松涛 武东城 于长淞 
国家科技重大专项(2009ZX02205)
目前,高数值孔径(NA)投影光刻物镜都普遍采用非球面元件来提升光学系统的成像质量并降低系统的复杂度,但是高精度非球面检测一直是光学检测领域的一大难题,也是限制高NA投影光刻物镜制造的关键因素。为了解决这一难题,针对高NA投影光刻...
关键词：测量 计算全息图 非球面 投影光刻物镜 衍射鬼像 干涉仪 
高数值孔径投影光刻物镜的光学设计被引量：10
《光学精密工程》2016年第4期740-746,共7页徐明飞 庞武斌 徐象如 王新华 黄玮 
国家科技重大专项基金资助项目(No.2012ZX02701001-007)
针对45nm节点投影光刻物镜的应用,开展了工作波长为193nm的深紫外浸没式高数值孔径（NA）投影光刻物镜的研究和研制。设计了数值孔径（NA）为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜,并对两个设计方案的...
关键词：光学设计 高数值孔径(NA)投影光刻物镜 深紫外投影光刻物镜 远心度 曲面光阑 
精密光学系统的热像差被引量：6
《光学精密工程》2015年第11期3033-3040,共8页张巍 于新峰 周连生 王学亮 倪明阳 彭海峰 
国家科技重大专项资助项目(No.2009ZX02205)
为了精确控制与补偿物镜的热像差,设计了一套三镜实验光学系统,基于该系统验证了热像差计算方法的准确性。介绍了热像差分析方法及验证实验方案。开展不同热载工况下热像差测试实验,并与仿真结果进行了对比。最后,综合实验与仿真结果,...
关键词：精密光学系统 激光辐照 投影光刻物镜 热像差 
高数值孔径投影光刻物镜波像差的自动平衡优化被引量：3
《光学精密工程》2015年第8期2143-2148,共6页徐明飞 黄玮 
国家科技重大专项资助项目(No.2012ZX02701001-007)
考虑高数值孔径(NA)投影光刻物镜视场较大、波像差分布不均匀,本文提出了一种自动优化设计方法来降低设计过程中出现的全视场最大波像差。该方法通过将一个自动调节采样视场权重的循环程序附加在光刻物镜的局部优化程序之外来自动平衡...
关键词：投影物镜 光刻物镜 波像差 光学设计 自动优化 
同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究
《光学学报》2015年第10期103-110,共8页徐象如 黄玮 贾树强 徐明飞 
国家重大专项子课题基金(2012ZX02701001-007)
热像差是导致光刻物镜工作状态下像质劣化的主要原因之一。针对同轴两反式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的结构特点,提出了将元件位移法和元件分区加热法相结合,共同补偿热像差的方案。元件位移法通过改变元件的间隔、偏心或倾斜量来调节...
关键词：成像系统 投影光刻物镜 热像差 元件位移 分区加热 
膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进被引量：3
《光学学报》2015年第1期338-345,共8页尚红波 刘春来 张巍 陈华男 
国家科技重大专项(2009ZX02205)
为了实现高成像要求,投影光刻物镜在设计时需要考虑膜层偏振效应的影响,并进行相应的分析和评价。首先介绍了基于琼斯矩阵的偏振像差理论,然后以一个数值孔径(NA)为0.75的投影光刻物镜为例,设计了相应膜系,系统分析了膜层引入的偏振像差...
关键词：光学制造 投影光刻物镜 膜系 偏振像差 对比度 
投影光刻物镜波像差的公差分析方法被引量：3
《光学技术》2014年第4期289-294,共6页符媛英 李艳秋 刘晓林 曹振 刘克 
国家科技重大专项;国家自然基金重点项目(60938003);北京高等学校青年英才计划项目资助课题
为保证投影光刻物镜的成像性能并降低制造成本,提出了一种更全面可靠的公差分析方法。该方法在以波像差均方根(RMS)值作为评价标准的传统分析方法基础上,添加波像差峰谷(P-V)值作为评价指标,并据此选择合理的补偿器组合。在系统波像差的...
关键词：成像光学 公差分析 波像差 投影光刻物镜 补偿器 
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