于长淞

作品数：11被引量：56H指数：5
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：波像差空间滤波器投影物镜剪切干涉干涉仪更多>>
发文领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信理学更多>>
发文期刊：《长春理工大学学报（自然科学版）》《液晶与显示》《光电子．激光》《激光与光电子学进展》更多>>
所获基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
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用于高精度非球面面形检测的计算全息图的设计被引量：5
《激光与光电子学进展》2016年第9期64-71,共8页高松涛 武东城 于长淞 
国家科技重大专项(2009ZX02205)
目前,高数值孔径(NA)投影光刻物镜都普遍采用非球面元件来提升光学系统的成像质量并降低系统的复杂度,但是高精度非球面检测一直是光学检测领域的一大难题,也是限制高NA投影光刻物镜制造的关键因素。为了解决这一难题,针对高NA投影光刻...
关键词：测量 计算全息图 非球面 投影光刻物镜 衍射鬼像 干涉仪 
疵病检测中适用于不同倍率物镜的波前编码板优化设计
《光电子．激光》2016年第3期291-297,共7页刘江 苗二龙 于长淞 隋永新 杨怀江 
国家重大科技02专项(2009X02205)资助项目
为了更有效地对光刻投影物镜进行疵病显微检测,通过对波前编码(WFC)板上光线入射角度及其系数之间变化关系的分析,设计和优化了一个可以同时适用于5X、10X和20X显微物镜的WFC板。设计结果表明,加入优化设计的WFC板后,分别对5X、10X和20...
关键词：波前编码(WFC) 显微物镜 景深 分辨率 光学检测 
精磨光学元件面形的干涉检测技术研究被引量：8
《电子测量与仪器学报》2015年第4期558-562,共5页代雷 吴迪 张健 张春雷 于长淞 谷勇强 
国家科技重大专项支持(2009ZX02205)项目
为解决传统接触式检测方法检测精磨光学元件效率低,精度差的问题,提出了一种采用干涉检测技术对精磨光学元件面形进行测量方法,该方法具有非接触,测量效率高,误差小的特点。干涉检测中干涉条纹的对比度与工作波长成正比,与表面粗糙度成...
关键词：精磨检测 光学元件 干涉检测 
剪切干涉仪精密相移系统的研制被引量：6
《国外电子测量技术》2014年第12期57-60,共4页于长淞 代雷 
设计了一种用于迈克尔逊干涉仪横向剪切相移测量的精密相移系统。该系统采用压电陶瓷驱动器作为驱动元件,通过柔性铰链平移机构推动反射镜实现无摩擦、无间隙微位移。采用电容传感器进行位移反馈测量,利用单片机系统作为中央处理器进行...
关键词：相移干涉 精密相移系统 压电陶瓷驱动器 柔性铰链 闭环控制 
高精度干涉仪针孔空间滤波器研制被引量：4
《中国光学》2013年第6期952-957,共6页张春雷 向阳 于长淞 
国家重大科技专项(02专项)基金资助项目(No.2009ZX02202-005)
应用于高重复频率、高功率193 nm准分子激光器会聚光路中的针孔空间滤波器,除了需要考虑它的材料加工难易、厚度、针孔尺寸等因素外,还需考虑材料抗激光损伤特性。本文利用激光损伤理论中一维热流模型对无限厚和有限厚不同金属样品在高...
关键词：干涉仪 针孔空间滤波器 热流模型 离子束聚焦 
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计被引量：15
《电子测量与仪器学报》2013年第11期1099-1104,共6页于长淞 齐克奇 张春雷 向阳 
国家科技重大专项(2009ZX02202)资助项目
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪具有很高的检测精度,为满足相移的需要,光栅移相装置需要拥有较大的行程,是干涉仪的关键器件之一。根据干涉仪需求设计了基于柔性铰链及桥式放大机构并利用压电陶瓷驱动的光栅移相装置,利用有限元分析方法...
关键词：剪切干涉 光栅移相 压电陶瓷 有限元 
点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展被引量：5
《激光与光电子学进展》2013年第3期30-36,共7页于长淞 向阳 
国家科技重大专项(2009ZX02202)资助课题
在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是通过衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。介绍了小孔掩模的结构与作用原理,对小孔衍射电磁场仿真技术进行了分类比较。对国内外现有小孔掩模加...
关键词：光学器件 小孔掩模 电磁场仿真 波像差 
点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究被引量：1
《长春理工大学学报（自然科学版）》2012年第4期24-26,30,共4页于长淞 
国家科技重大专项项目(2009ZX02202)
在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。分析了聚焦离子束刻蚀、电子束曝光等加工技术的加工原理、加工精度及技术特点。采用优质航空铝,利用单点...
关键词：光学器件 小孔掩模 聚焦离子束 扫描电镜 
镜片中心偏差测量方法发展现状被引量：2
《光机电信息》2011年第8期17-21,共5页方超 于长淞 
研究了国内外镜片中心偏差主要测量方法,按其特点进行了分类,并介绍了每种方法的基本原理,分析了其测量特点和应用条件。
关键词：中心偏差 自准直 干涉测量 
基于小波变换的ESPI图像去噪及边缘提取被引量：9
《液晶与显示》2011年第6期818-822,共5页于长淞 方超 
国家自然科学基金(No.60538020)
电子散斑干涉条纹的强噪声特性使其信噪比过低,常用的图像滤波方法对于散斑干涉条纹都存在一定的不足。针对散斑条纹的特点,建立了自适应滤波与小波变换相结合的组合迭代滤波方法。在对散斑条纹预处理基础上,通过选择不同的小波函数以...
关键词：电子散斑干涉 小波滤波 迭代滤波 边缘提取 
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