刘江

作品数：5被引量：17H指数：3
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：景深延拓光学检测波前编码光学元件显微成像更多>>
发文领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光学学报》《中国激光》《应用光学》更多>>
所获基金：国家科技重大专项更多>>
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疵病检测中适用于不同倍率物镜的波前编码板优化设计
《光电子．激光》2016年第3期291-297,共7页刘江 苗二龙 于长淞 隋永新 杨怀江 
国家重大科技02专项(2009X02205)资助项目
为了更有效地对光刻投影物镜进行疵病显微检测,通过对波前编码(WFC)板上光线入射角度及其系数之间变化关系的分析,设计和优化了一个可以同时适用于5X、10X和20X显微物镜的WFC板。设计结果表明,加入优化设计的WFC板后,分别对5X、10X和20...
关键词：波前编码(WFC) 显微物镜 景深 分辨率 光学检测 
利用泽尼克位相型光瞳滤波器实现景深延拓及超分辨被引量：4
《光学学报》2015年第12期136-141,共6页刘江 苗二龙 王学亮 隋永新 杨怀江 
国家科技重大专项(2009ZX02205)
为了对显微光学系统实现景深延拓和超分辨,设计了一种基于泽尼克多项式的位相型光瞳滤波器,并分析了其对光学系统在焦点附近光强分布的改善。结果表明,与传统显微光学系统相比,加入泽尼克位相型光瞳滤波器后,系统景深延拓了4.15倍,分辨...
关键词：成像系统 光瞳滤波器 景深延拓 超分辨 泽尼克多项式 
基于光强自标定移相算法检测光学面形被引量：8
《光学精密工程》2014年第8期2007-2013,共7页刘江 苗二龙 曲艺 隋永新 杨怀江 
国家重大科技专项资助项目(No.2009X02205)
考虑菲佐型波长移相干涉仪中波长可调谐激光器光强与调节电压之间的关系会对相位计算精度造成影响,本文提出了一种基于光强自标定的波长移相算法。首先,分析了波长可调谐激光器调节电压与输出光强之间的关系,建立了数学模型;然后,依据...
关键词：菲佐干涉仪 波长移相 移相算法 光强自标定 面形检测 
免疫投影基准光强变化的五步移相算法在条纹投影偏折法中的应用被引量：5
《中国激光》2013年第11期203-209,共7页刘江 王飞 王高文 高松涛 杨怀江 
国家科技重大专项(2009ZX02205)
为了提高条纹投影偏折法对自由曲面的测量精度，通过分析投影到待测面的条纹光强变化形式，推导出一种可以免疫光强变化的五步移相算法，并通过频域傅里叶分析论述了该算法的可行性。数值实验结果表明，免疫光强变化的五步移相算法在基...
关键词：光学检测 移相算法 条纹投影偏折法 光强变化 
快速傅里叶变换与泽尼克模式拟合的条纹投影面形恢复算法
《应用光学》2013年第4期614-618,共5页刘江 崔穆涵 高松涛 隋永新 杨怀江 
国家科技重大专项(02专项)资助课题(2009ZX02205)
针对条纹投影偏折法中需要多次迭代进行面形恢复,提出一种结合快速傅里叶变换(FFT)算法与泽尼克(Zernike)模式拟合的算法(FFT-泽尼克)。数值仿真结果表明,直接使用泽尼克模式拟合,需要迭代15次,用时1min以上,而使用FFT-泽尼克算法,迭代...
关键词：光学检测 FFT-泽尼克模式拟合算法 模式拟合算法 Southwell区域算法 条纹投影偏折法 
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