谷勇强

作品数:13被引量:103H指数:6
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供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题:面形光学加工光学非球面光学镀膜精磨更多>>
发文领域:机械工程理学电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊:《光学精密工程》《光学学报》《中国激光》《电子测量与仪器学报》更多>>
所获基金:国家科技重大专项中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新工程资助项目吉林省科技发展计划基金更多>>
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应用离子束修正高精度CGH基底被引量:2
《中国光学》2016年第2期270-276,共7页马占龙 彭利荣 王高文 谷勇强 
国家科技重大专项项目(No.2009ZX02205)~~
计算全息图(CGH)作为零位补偿器广泛应用于高精度非球面的检测中,但CGH的基底误差直接限制了非球面的检测精度。为了获得超高精度的CGH基底,提出了应用离子束修正CGH基底的加工工艺。采用不同束径的离子束去除函数对一边长152 mm(有效口...
关键词:光学制造 离子束 计算全息图 透射波前 
基于指数法评估激光量热仪吸收测量不确定度被引量:2
《光学精密工程》2016年第2期278-285,共8页谷勇强 张立超 武潇野 梅林 时光 
国家重大科技专项基金资助项目(No.2009ZX02205)
为了掌握熔石英样品在紫外波段的吸收特性,研究了精确评估激光量热仪测量不确定度的方法。介绍了激光量热仪的吸收测量原理,选用指数法对吸收测量数据进行了拟合;通过分析各吸收率测量结果的影响分量,建立了测量不确定度评估模型;对各...
关键词:测量技术 激光量热仪 指数法 吸收测量 不确定度 温度漂移 熔石英 
精磨光学元件面形的干涉检测技术研究被引量:8
《电子测量与仪器学报》2015年第4期558-562,共5页代雷 吴迪 张健 张春雷 于长淞 谷勇强 
国家科技重大专项支持(2009ZX02205)项目
为解决传统接触式检测方法检测精磨光学元件效率低,精度差的问题,提出了一种采用干涉检测技术对精磨光学元件面形进行测量方法,该方法具有非接触,测量效率高,误差小的特点。干涉检测中干涉条纹的对比度与工作波长成正比,与表面粗糙度成...
关键词:精磨检测 光学元件 干涉检测 
利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差
《光学学报》2015年第8期269-274,共6页赵阳 王平 史振广 谷勇强 刘春来 门树东 
国家重大科技专项02专项(2009ZX02005)
极小像差投影物镜中的高阶像差很难通过调节机构消除,是约束像质进一步补偿优化的瓶颈。离子束溅射(IBF)设备广泛应用于光学加工中,能够较好地去除低频和中频误差,实现高精度面形精修。对现有投影物镜小比例验证模型的系统波像差成分进...
关键词:几何光学 三叶像差 面形精修 条纹泽尼克多项式 
应用五轴离子束修正超高陡度镜面被引量:6
《光学学报》2015年第6期233-240,共8页马占龙 谷勇强 彭利荣 王高文 
国家科技重大专项(2009ZX02205)
为了验证离子束修正超高陡度镜面的能力,对采用五轴离子束加工超高陡度镜面的问题进行了分析研究和加工实验。根据现有检测条件制定了实验方案并对面形数据进行了处理;对超过机床五轴加工摆轴行程区域的驻留时间进行了补偿;建立了离子...
关键词:光学制造 离子束 超高陡度 面形修正 
三坐标检测光学元件曲率半径的误差分析被引量:10
《电子测量与仪器学报》2014年第11期1235-1241,共7页彭利荣 王东方 马占龙 谷勇强 王飞 王高文 张春雷 
国家科技重大专项(2009ZX02205)项目
对光学元件曲率半径的通用检测方法进行评估,理论分析了三坐标系统检测元件曲率半径误差的主要来源、分布以及总和,并通过与激光干涉仪测量结果的对比,明确了三坐标测量系统的检测精度,为铣磨加工阶段进一步修正光学元件曲率半径提供数...
关键词:曲率半径检测 干涉仪 三坐标 不确定度 
激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收被引量:8
《中国激光》2014年第8期180-187,共8页赵灵 武潇野 谷勇强 时光 梅林 才玺坤 张立超 
国家重大科技专项02专题(2009ZX02205)
为了获得薄膜材料吸收率与深紫外激光照射能量密度间的对应关系,掌握薄膜材料深紫外吸收特性,应制定相应的吸收测量规范。介绍了激光量热法的原理及测试流程,分析了测试过程中的剂量效应、非线性吸收和不可恢复吸收等现象,提出了利用激...
关键词:薄膜 薄膜材料 193nm激光器 激光量热法 吸收系数 
基于有限元及神经网络的磨削温度仿真预测被引量:19
《电子测量与仪器学报》2013年第11期1080-1085,共6页马占龙 王高文 张健 谷勇强 代雷 彭利荣 
为了控制由于磨削温度过高引起的工件表面热损伤,对磨削温度场的分布进行了仿真和预测研究。首先,采用有限元法对磨削温度场的分布状况进行了仿真研究,并通过实验验证了仿真结果的准确性;随后,以仿真结果作为训练样本采用BP神经网络对...
关键词:磨削温度 有限元 神经网络 仿真 预测 
双球面法标定立式参考球面的精度分析被引量:4
《光学精密工程》2012年第3期527-533,共7页谷勇强 苗二龙 隋永新 
光学系统关键技术研究资助项目(No.06E030)
采用双球面法对立式Fizeau干涉仪的参考球面进行标定以确定由重力、安装夹持力等导致的面形形变量,提高立式光学系统中光学元件的面形检测精度。首先,推导了双球面法标定算法;进而,理论分析和模拟计算了影响检测精度的环境、重力、安装...
关键词:双球面法 立式参考球面 绝对测量 重力变形 Fizeau干涉仪 
计算全息法标定抛物面精度分析被引量:3
《中国激光》2011年第12期195-200,共6页谷勇强 苗二龙 高松涛 隋永新 杨怀江 
国家科技重大专项02专项(2009ZX02205)资助课题
非球面高精度检测是目前光学检测研究的热点和难点之一。计算全息(CGH)技术是非球面检测的重要方法,但检测精度受到许多因素的影响。对CGH检测抛物面的误差进行了深入研究。应用Zemax软件对各种检测误差进行模拟计算,利用CGH对抛物面面...
关键词:测量 计算全息法 抛物面测量 精度分析 Fizeau干涉仪 
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