梅林

作品数：7被引量：28H指数：3
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：光学镀膜镀膜离子束溅射深紫外元件更多>>
发文领域：理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
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离子束溅射制备低应力深紫外光学薄膜被引量：6
《中国光学》2016年第6期649-655,共7页才玺坤 张立超 时光 贺健康 武潇野 梅林 
国家重大科技专项(02专项)基金资助项目(No.2009ZX02205)~~
采用离子束溅射制备了Al F3、Gd F3单层膜及193 nm减反和高反膜系,分别使用分光光度计、原子力显微镜和应力仪研究了薄膜的光学特性、微观结构以及残余应力。在优选的沉积参数下制备出消光系数分别为1.1×10^(-4)和3.0×10^(-4)的低损耗...
关键词：离子束溅射 应力 光学特性 膜厚均匀性 
离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性被引量：2
《中国光学》2016年第3期356-363,共8页贺健康 张立超 才玺坤 时光 武潇野 梅林 
国家重大科技专项(02专项)基金资助项目(No.2009ZX02205)~~
本文采用离子束溅射方法制备GdF_3薄膜,并研究其沉积速率分布特征。首先,采用膜厚仪测量得出GdF_3薄膜在行星盘平面的二维沉积速率分布图,通过拟合模型得到二维沉积速率分布公式。其次,分析了束流束压及靶材角度对沉积速率分布特征的影...
关键词：离子束溅射 光学薄膜 沉积速率 二维拟合 膜厚均匀性 
基于指数法评估激光量热仪吸收测量不确定度被引量：2
《光学精密工程》2016年第2期278-285,共8页谷勇强 张立超 武潇野 梅林 时光 
国家重大科技专项基金资助项目(No.2009ZX02205)
为了掌握熔石英样品在紫外波段的吸收特性,研究了精确评估激光量热仪测量不确定度的方法。介绍了激光量热仪的吸收测量原理,选用指数法对吸收测量数据进行了拟合;通过分析各吸收率测量结果的影响分量,建立了测量不确定度评估模型;对各...
关键词：测量技术 激光量热仪 指数法 吸收测量 不确定度 温度漂移 熔石英 
热蒸发与离子束溅射制备LaF_3薄膜的光学特性被引量：4
《中国光学》2014年第5期808-815,共8页才玺坤 张立超 梅林 时光 
国家重大科技专项(02专项);基金资助项目(No.2009ZX02205)
研究了钼舟热蒸发工艺和离子束溅射方法制备的单层LaF3薄膜的特性。首先,采用分光光度计测量了LaF3薄膜的透射率和反射率光谱,使用不同模型拟合得出薄膜的折射率和消光系数。然后,采用应力仪测量了加热和降温过程中LaF3薄膜的应力-温度...
关键词：薄膜 LAF3 热蒸发 离子束溅射 应力 减反膜 
激光量热法测量深紫外氟化物薄膜吸收被引量：8
《中国激光》2014年第8期180-187,共8页赵灵 武潇野 谷勇强 时光 梅林 才玺坤 张立超 
国家重大科技专项02专题(2009ZX02205)
为了获得薄膜材料吸收率与深紫外激光照射能量密度间的对应关系,掌握薄膜材料深紫外吸收特性,应制定相应的吸收测量规范。介绍了激光量热法的原理及测试流程,分析了测试过程中的剂量效应、非线性吸收和不可恢复吸收等现象,提出了利用激...
关键词：薄膜 薄膜材料 193nm激光器 激光量热法 吸收系数 
球面元件表面AlF_3薄膜的光学特性和微观结构表征被引量：5
《中国光学》2013年第6期906-911,共6页时光 梅林 张立超 
国家重大科技专项(02专项)基金资助项目(No.2009ZX02205)
在模拟球面元件曲率半径的仿面形夹具上镀制了AlF3单层薄膜,并对不同口径位置上的薄膜进行了比较,以表征球面元件表面镀制薄膜的光学特性和微观结构。首先,采用紫外可见光分光光度计测量了不同口径位置上薄膜样品的透射和反射光谱,反演...
关键词：热蒸发 AlF3薄膜 球面元件 微观结构特性 
离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜被引量：3
《激光技术》2013年第5期592-595,共4页时光 梅林 高劲松 张立超 张玲花 
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02205)
为了满足深紫外光刻物镜对薄膜的要求,得到低损耗、高稳定性、长寿命的深紫外薄膜,需要选用适当的镀膜工艺方法。分别选取了离子束溅射法、热舟蒸发法和电子束蒸发法优化后的最佳工艺参量,在融石英基底上使用3种方法镀制了单层LaF3薄膜...
关键词：薄膜 LAF3 热蒸发 离子束溅射 深紫外 
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