深紫外

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超大数值孔径深紫外投影光刻空间像的偏振响应分析
《成都工业学院学报》2025年第2期14-19,共6页彭仁举 
成都工业学院科研项目(2024RC017)。
65 nm以下工艺节点的投影物镜具有超大数值孔径,且处于深紫外工作波段,导致不同偏振态所对应的投影光刻空间像之间存在显著的差异。将s和p偏振所对应空间像之间的差异定义为偏振响应,以十字线和竖线条阵列为研究对象,利用矢量衍射投影...
关键词：偏振响应 超大数值孔径 深紫外 投影光刻 
从单晶MgZnO到非晶Ga_(2)O_(3):深紫外光电探测器的发展和选择
《发光学报》2025年第3期399-411,共13页梁会力 朱锐 杜小龙 梅增霞 
国家自然科学基金(62174113,12174275,62404146);广东省基础与应用基础研究基金(2023A1515140094,2023A1515110730,2019B1515120057)。
宽带隙半导体在研制无滤光片紧凑型日盲紫外探测器方面具有极大的发展潜力。本文结合本团队在分子束外延MgZnO单晶薄膜和磁控溅射非晶Ga_(2)O_(3)薄膜以及相应日盲紫外探测器的研究经验,综述了以MgZnO和非晶Ga_(2)O_(3)为代表的宽带隙...
关键词：日盲紫外 光电探测器 镁锌氧 氧化镓 非晶 
基于深紫外激光的水中大肠杆菌消杀灭活方法研究
《机电工程技术》2025年第5期93-96,共4页苗风一 陈浪 曹雄晶 李萌 米高阳 马修泉 
水作为生物赖以生存的基本资源,特别是对人类的健康生存至关重要,对水的消毒杀菌问题越来越得到重视。大肠杆菌是一种食源性致病菌,水是其主要传播媒介,可作为水质分析的指标。目前广泛使用的几种消毒水的方法,包括使用臭氧、紫外线照...
关键词：紫外激光 大肠杆菌 水消毒 
基于仿生平面复眼透镜提高AlGaN基DUV Micro-LED光提取效率
《机电工程技术》2025年第3期47-51,共5页刘欢 杨涛 王铠尧 刘宁炀 周文 谭起龙 
国家重点研发计划课题(2023YFB3609703);广东省自然科学基金(2023A1515011175);广州市基础与应用基础研究专题(2024A04J00263);广东省科学院科技计划项目(2022GDASZH-2022010111,2023GDASZH-2023030601-02)。
内全反射是限制AlGaN基深紫外微型发光二极管(DUV Micro-LED)光提取效率的重要因素之一,严重降低了深紫外LED的能量利用率和寿命。受到昆虫复眼结构高能量利用率的启发,提出了一种基于仿生平面复眼透镜提高AlGaN基Micro-LED光提取效率...
关键词：深紫外微型发光二极管 光提取效率 平面复眼透镜 
基于锥形超晶格p-AlInGaN层的AlGaN基深紫外发光二极管性能优化
《原子与分子物理学报》2025年第1期101-107,共7页许愿 张傲翔 张鹏飞 王芳 刘俊杰 刘玉怀 
国家自然科学基金(62174148);国家重点研发计划(2022YFE0112000,2016YFE0118400);河南省国际科技合作重点项目(231111520300);宁波市“科技创新2025”重大专项(2019B10129);智汇郑州·1125聚才计划(ZZ2018-45)。
为了解决AlGaN基深紫外(DUV)发光二极管(LED)中的严重电子溢出和低空穴注入的问题,本文提出了一种新型锥形超晶格p-AlInGaN层,它大幅改善了基于AlGaN的DUV LED的光电特性.与传统结构相比,所提出结构的输出功率提高了337.8%;同时它的内...
关键词：深紫外发光二极管 ALINGAN 锥形超晶格 内部量子效率 辐射复合 
基于超宽禁带半导体镓氧氮的深紫外光电探测器及其电弧检测应用
《中国激光》2025年第1期50-57,共8页鲁普东 吴超 王顺利 
浙江省教育厅科研基金(23060158-F)。
电弧是气体放电的最终形式,放电过程中产生的光电效应会辐射紫外线,波长主要集中在200~400 nm。因此,通过深紫外光电传感器将电弧产生的光信号转换为电信号,可以检测和评估电弧放电的程度,防患于未“燃”。通过等离子体增强化学气相沉积...
关键词：镓氧氮 薄膜 电弧检测 深紫外 光电探测器 
基于Nd∶YVO4再生放大器的266 nm深紫外皮秒激光器
《激光与光电子学进展》2025年第1期189-194,共6页郭琨 韩野 熊梦园 刘亚龙 王冬 徐斌 曾选科 徐世祥 
国家自然科学基金(62275224);深圳市科技计划重点项目(JCYJ20200109105606426)。
大能量、高峰值功率的深紫外超短脉冲激光具有重要的应用价值。搭建了全固态高功率Nd∶YVO4锁模激光器,波长为1064 nm,最大输出功率为9.32 W,脉冲重复频率为78.12 MHz,脉冲宽度为13.9 ps。将该1064 nm皮秒激光作为种子注入到再生放大器...
关键词：全固态锁模振荡器 再生放大器 皮秒激光 266 nm深紫外激光 
掺铽氟化物晶体可见光激光器研究进展
《发光学报》2024年第11期1871-1882,共12页刘子琪 徐学森 蒋艳梅 郭永瑞 
国家自然科学基金(62205042);中国博士后面上项目(2023MD734108);重庆市博士后创新人才支持计划(CQBX202221);重庆市教委青年项目(KJON202300601);重庆邮电大学科研项目(X2024106170008,A2024197)。
掺铽氟化物晶体激光器由于可直接产生覆盖500~700 nm可见光波段激光输出,相对于传统变频可见光激光器,具有结构紧凑、转换效率高等优势,因此在科学研究和工业领域具有广阔的应用前景。当前,掺铽氟化物晶体可见光激光器发展的关键在于提...
关键词：掺铽氟化物晶体 可见光激光器 连续激光 脉冲激光 深紫外激光 
新技术
《稀土信息》2024年第11期20-21,共2页无 
中国科学院新疆理化技术研究所在稀土硼酸盐氟化物深紫外非线性光学晶体研究方面取得进展深紫外非线性光学晶体是实现全固态激光器深紫外倍频输出的关键光学元件,其综合性能直接决定了深紫外激光输出的光束质量和转换效率。然而,由于透...
关键词：全固态激光器 频率转换 光束质量 深紫外激光 紫外波段 双折射率 中国科学院 相位匹配 
空间引力波探测中电荷管理系统的紫外光源应用被引量：1
《物理学报》2024年第22期89-105,共17页阮远东 章志昊 贾茳勰 顾煜宁 张善端 崔旭高 洪葳 白彦峥 田朋飞 
国家重点研发计划(批准号:2021YFC2202503)资助的课题.
引力波是物质和能量的剧烈运动和变化所产生的一种物质波,通过探测引力波可以使得人类从另一个角度去观测宇宙.在空间引力波探测的过程中,惯性传感器中的检验质量会受到太空环境中粒子和射线的作用而积累电荷,影响了引力波探测的精度,...
关键词：电荷管理 深紫外 LED 微型 LED 
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