贾树强

作品数:6被引量:17H指数:3
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供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题:大视场探测器阵列反射镜光学系统图像复原更多>>
发文领域:机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊:《光学精密工程》《光学学报》更多>>
所获基金:国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
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简单光学系统的宽光谱点扩散函数估计被引量:1
《中国光学》2019年第6期1418-1430,共13页郑云达 黄玮 潘云 徐明飞 贾树强 张晓菲 卢勇男 
应用光学国家重点实验室资助~~
为了准确获取简单光学系统的点扩散函数(PSF),提升图像复原质量,本文提出了一种基于PSF测量的宽光谱PSF估计方法。首先,测量了光学系统的窄带PSF,并结合图像匹配算法,标定了实际光学系统中的探测器位置和光轴中心偏移。然后,模拟实际光...
关键词:计算成像 点扩散函数 图像复原 宽光谱 
大视场高像质简单光学系统的光学-算法协同设计被引量:3
《中国光学》2019年第5期1090-1099,共10页郑云达 黄玮 徐明飞 潘云 贾树强 张晓菲 卢勇男 
应用光学国家重点实验室自主基金资助~~
为了实现高像质相机低成本、小型化的需求,本文提出了一种大视场简单光学系统的光学-算法协同设计方法,并通过图像复原算法校正简单光学系统的残余像差。首先,针对大视场光学系统,对空间变化的交叉通道去卷积算法进行改进,加入倍率色差...
关键词:计算成像 光学系统设计 图像复原 去卷积 
径向预紧力对反射镜重力变形的补偿作用被引量:1
《光学学报》2016年第4期268-275,共8页贾树强 黄玮 徐象如 姚长呈 
国家重大科技专项(2012ZX02701001-007)
针对精密反射镜的重力变形,提出了一种基于径向预紧力的变形补偿方法。以高数值孔径(NA)投影光刻物镜中的反射镜为研究对象,建立了反射镜的受力模型,定性分析了径向预紧力对反射镜重力变形的影响规律。利用有限元分析方法得到了在不同...
关键词:光学器件 表面变形 面形补偿 预紧力 有限元方法 
胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响被引量:7
《光学精密工程》2015年第7期2005-2012,共8页贾树强 黄玮 庞武斌 
国家科技重大专项资助项目(No.2012ZX02701001-007)
以45nm浸没式光刻物镜中采用的三点支撑反射镜为研究对象,建立了胶层连接的三点边缘支撑结构模型,用以确定胶层厚度对三点支撑反射镜面形变化的影响。分析了重力作用下三点支撑反射镜的面形变化情况,通过解析表达式描述了胶层厚度对反...
关键词:光机系统 反射镜 三点支撑 表面面形 胶层 有限元模型 
同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究
《光学学报》2015年第10期103-110,共8页徐象如 黄玮 贾树强 徐明飞 
国家重大专项子课题基金(2012ZX02701001-007)
热像差是导致光刻物镜工作状态下像质劣化的主要原因之一。针对同轴两反式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的结构特点,提出了将元件位移法和元件分区加热法相结合,共同补偿热像差的方案。元件位移法通过改变元件的间隔、偏心或倾斜量来调节...
关键词:成像系统 投影光刻物镜 热像差 元件位移 分区加热 
微镜头阵列球面排布方法研究被引量:5
《光学学报》2015年第5期313-320,共8页庞武斌 黄玮 王新华 贾树强 
国家自然科学基金(61170092);国家自然科学基金重点项目(61133011)
为了解决微镜头阵列在球面上的排布问题,提出了一种通用的基于正二十面体阵列点微移动排布方法。采用与排布球面同心正二十面体点阵投射方法获取微镜头中心点在球面上的初始排布。以弦长率和填充率为评价函数,采用点阵微移动法对此初始...
关键词:光学设计 微相机阵列 点阵微移动法 球面排布 填充率 
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